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1. (WO2017217150) DÉTECTEUR DE PRESSION

Pub. No.:    WO/2017/217150    International Application No.:    PCT/JP2017/017876
Publication Date: Fri Dec 22 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri May 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/00
H01L 29/84
Applicants: DENSO CORPORATION
株式会社デンソー
Inventors: SHIRAHATA Yukari
白旗 由香利
Title: DÉTECTEUR DE PRESSION
Abstract:
Selon l'invention, la forme d'une surface supérieure d'une surface de paroi intérieure d'une partie de support (15), en d'autres termes, la forme d'un diaphragme (14) formé par une partie en retrait (13), est réalisée de façon à présenter une forme polygonale ayant quatre côtés ou plus, par exemple une forme octogonale. Le fait de former la surface supérieure de la surface de la paroi intérieure de la partie de support (15) en une forme polygonale ayant au moins quatre côtés, permet de cette manière au diaphragme (14) de se déformer d'une plus grande quantité par rapport à l'application d'une pression que si une forme circulaire est utilisée, ce qui permet d'améliorer la sensibilité d'un capteur de pression (S1).