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1. (WO2017215941) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE, ET APPAREIL D'INSPECTION D'UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT
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N° de publication : WO/2017/215941 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/063352
Date de publication : 21.12.2017 Date de dépôt international : 01.06.2017
CIB :
G01R 31/28 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : UNITY SEMICONDUCTOR[FR/FR]; 611 rue Aristide Bergès 38330 MONTBONNOT-SAINT-MARTIN, FR
Inventeurs : PETITGRAND, Sylvain; FR
Mandataire : PONTET ALLANO & ASSOCIES; Parc Les Algorithmes, Bâtiment PLATON CS 70003 SAINT-AUBIN 91192 GIF SUR YVETTE cedex, FR
Données relatives à la priorité :
165567017.06.2016FR
Titre (EN) POSITIONING DEVICE FOR AN INTEGRATED CIRCUIT BOARD, AND INSPECTION APPARATUS FOR AN INTEGRATED CIRCUIT BOARD COMPRISING SUCH A POSITIONING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE, ET APPAREIL D'INSPECTION D'UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN) The present invention relates to a positioning device (100) for positioning an integrated circuit board (W), comprising: - a base (102), referred to as the upper base, and a base (106), referred to as the lower base, arranged at a separation from one another in a direction (Z), referred to as the vertical direction, in such a way as to leave a free space between said bases (102, 106); - a support (110), capable of moving between said upper (102) and lower (106) bases, and comprising a receiving location (112) for receiving said circuit board (W) to be inspected; - at least a first positioning means (118) for positioning said support (110) in the vertical direction (Z) against, or cooperating with, said upper base (102); and - at least one second positioning means (122) for positioning said support (110) in the vertical direction (Z) against, or cooperating with, said lower base (106). The invention also relates to an apparatus for inspecting an integrated circuit board utilising such a positioning device.
(FR) La présente invention concerne un dispositif (100) de positionnement d'une plaquette de circuit intégré (W) comprenant: -une base (102), dite supérieure, et une base (106), dite inférieure, disposées à distance l'une de l'autre dans une direction (Z), dite verticale, de sorte à laisser un espace libre entre lesdites bases (102,106); -un support (110), prévu mobile entre lesdites bases supérieure (102) et inférieure (106), et comportant un emplacement d'accueil (112) de ladite plaquette (W) à inspecter; -au moins un premier moyen de positionnement (118) du dit support (110) suivant la dite direction verticale (Z) contre, ou par coopération avec, ladite base supérieure (102); et -au moins un deuxième moyen de positionnement (122) du dit support (110) suivant la dite direction verticale (Z) contre,ou par coopération avec,ladite base inférieure(106). Elle concerne également un appareil d'inspection d'une plaquette de circuit intégré mettant en œuvre un tel dispositif de positionnement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)