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1. (WO2017215871) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE POUR DISPOSITIF FORMANT CAPTEUR DE PRESSION
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N° de publication :    WO/2017/215871    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/061822
Date de publication : 21.12.2017 Date de dépôt international : 17.05.2017
CIB :
B81B 3/00 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Inventeurs : REINMUTH, Jochen; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 210 479.9 14.06.2016 DE
Titre (DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE DRUCKSENSORVORRICHTUNG
(EN) MICRO-MECHANICAL COMPONENT FOR A PRESSURE SENSOR DEVICE
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE POUR DISPOSITIF FORMANT CAPTEUR DE PRESSION
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung mit einer an einem Substrat (10) aufgespannten und mittels eines Druckunterschieds zwischen einer ersten Substratseite des Substrats (10) und einer zweiten Substratseite des Substrats (10) verwölbbaren Membran (12), und einer Wippenstruktur (14) welche derart mit der Membran (12) verbunden ist, dass die Wippenstruktur (14) mittels einer Verwölbung der Membran (12) um eine erste Drehachse (16) verstellbar ist, wobei die Wippenstruktur (14) über eine Hebelstruktur (18) derart mit der Membran (12) verbunden ist, dass die Verwölbung der Membran (12) eine Drehbewegung der Hebelstruktur (18) um eine parallel zu der ersten Drehachse (16) ausgerichtete und davon beabstandete zweite Drehachse (20) auslöst und die Drehbewegung der Hebelstruktur (18) um die zweite Drehachse (20) eine weitere Drehbewegung der Wippenstruktur (18) um die erste Drehachse (16) auslöst. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Drucksensorvorrichtung und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung.
(EN)The invention relates to a micro-mechanical component for a pressure sensor device comprising a membrane (12) which is stretched on a substrate (10) and which can be warped by means of a pressure difference between a first substrate side of the substrate (10) and a second substrate side of the substrate (10), and comprising a rocker structure (14) which is connected to the membrane (12) in such a way that the rocker structure (14) can be shifted about a first rotational axis (16) by means of a warping of the membrane (12), wherein the rocker structure (14) is connected to the membrane (12) via a lever structure (18) in such a way that the warping of the membrane (12) triggers a rotational movement of the lever structure (18) about a second rotational axis (20) oriented in parallel to the first rotational axis (16) and arranged at a distance to same, and the rotational movement of the lever structure (18) about the second rotational axis (20) triggers a further rotational movement of the rocker structure (18) about the first rotational axis (16). The invention also relates to a pressure sensor device and a production method for a micro-mechanical component for a pressure sensor device.
(FR)L'invention concerne un composant micromécanique pour un dispositif formant capteur de pression comportant une membrane (12), s'étendant sur un substrat (10) et pouvant être courbée au moyen d'une différence de pression entre un premier côté de substrat du substrat (10) et un deuxième côté de substrat du substrat (10), et une structure à bascule (14), laquelle est reliée à la membrane (12), de sorte que la structure à bascule (14) est réglable, au moyen d'une courbure de la membrane (12), autour d'un premier axe de rotation (16), la structure à bascule (14) étant reliée, au moyen d'une structure de levier (18), avec la membrane (12), de sorte que la courbure de la membrane (12) déclenche un mouvement de rotation de la structure de levier (18) autour d'un deuxième axe de rotation (20), orienté de manière parallèle du premier axe de rotation (16) et espacé de celui-ci, et le mouvement de rotation de la structure de levier (18) autour du deuxième axe de rotation (20) déclenche un autre mouvement de rotation de la structure de levier (18) autour du premier axe de rotation (16). En outre, l'invention concerne un dispositif formant capteur de pression et un procédé de fabrication d'un composant micromécanique pour un dispositif formant capteur de pression.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)