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1. (WO2017215016) APPLICATION DE FILM DE TITANE, ET GUIDE D'ONDES OPTIQUE À BASE DE SILICIUM COMPORTANT CETTE APPLICATION

Pub. No.:    WO/2017/215016    International Application No.:    PCT/CN2016/086679
Publication Date: Fri Dec 22 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 23 01:59:59 CEST 2016
IPC: G02B 1/113
G02B 6/122
Applicants: ZHANGJIAGANG INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGIES SOOCHOW UNIVERSITY
苏州大学张家港工业技术研究院
Inventors: LUO, Jie
罗杰
LAI, Yun
赖耘
HOU, Bo
侯波
Title: APPLICATION DE FILM DE TITANE, ET GUIDE D'ONDES OPTIQUE À BASE DE SILICIUM COMPORTANT CETTE APPLICATION
Abstract:
La présente invention concerne une application de film de titane, et un guide d'ondes optique à base de silicium comportant cette application. Le film de titane sert à réduire et même à supprimer complètement la réflexion d'une onde électromagnétique d'une bande infrarouge proche. Selon l'invention, ce film de titane utilisé en tant que film antiréfléchissant pour l'onde électromagnétique d'une bande infrarouge proche a comme propriétés une large bande de 1 000 nm à 2 200 nm, un grand angle, et une très grande minceur; et le procédé de préparation du film est simple et le coût de préparation est bas. En raison du caractère ultramince du film, le poids du dispositif antiréfléchissant peut être réduit et le coût de ce dispositif antiréfléchissant est plus bas; et le dispositif peut être transporté de façon pratique. En plus, afin d'obtenir des effets antiréfléchissants pour différentes substances diélectriques, seule l'épaisseur du film de titane doit être ajustée, de sorte que le film puisse être largement appliqué. En outre, étant donné qu'un film de titane recouvre la surface d'extrémité d'un guide d'ondes optique à base de silicium, la réflexion de la surface d'extrémité du guide d'ondes optique à base de silicium peut être considérablement diminuée et, par conséquent, l'onde stationnaire dans ce guide d'ondes optique à base de silicium peut être considérablement réduite, de telle sorte que l'influence des ondes de réflexion sur d'autres dispositifs sur le chemin optique peut être nettement plus faible, et la stabilité du système de chemin optique est garantie.