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1. (WO2017214314) SPECTROSCOPIE SIMULTANÉE À ANGLES MULTIPLES

Pub. No.:    WO/2017/214314    International Application No.:    PCT/US2017/036417
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 08 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/66
H01L 21/67
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: KRISHNAN, Shankar
BUETTNER, Alexander
PURRUCKER, Kerstin
WANG, David Y.
Title: SPECTROSCOPIE SIMULTANÉE À ANGLES MULTIPLES
Abstract:
La présente invention concerne des procédés et des systèmes destinés à réaliser des mesures spectroscopiques simultanées de structures à semi-conducteurs sur une large plage d'angles d'incidence (AOI) et/ou d'angles d'azimut. Des spectres comprenant au moins deux sous-plages d'angles d'incidence et/ou d'angles d'azimut sont mesurés simultanément sur des sones de capteurs différentes à une cadence élevée. La lumière recueillie est dispersée linéairement à travers différentes zones photosensibles d'un ou plusieurs détecteurs en fonction de la longueur d'onde pour chaque sous-plage d'AOI et/ou d'angles d'azimut. Chaque zone photosensible différente est disposée sur le ou les détecteurs de façon à effectuer une mesure spectroscopique distincte pour chaque plage différente d'AOI et/ou d'angles d'azimut. De cette façon, une large plage d'AOI et/ou d'angles d'azimut est détectée simultanément avec un rapport signal-bruit élevé. Cette approche permet des mesures à cadence élevée de structures à grand facteur de forme avec une cadence, une précision et une exactitude élevées.