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1. (WO2017213842) AMÉLIORATION DE LA GRAVURE PAR COUCHE ATOMIQUE THERMIQUE

Pub. No.:    WO/2017/213842    International Application No.:    PCT/US2017/034027
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23F 1/12
Applicants: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF COLORADO, A BODY CORPORATE
Inventors: GEORGE, Steven McClellan
JOHNSON, Nicholas Ray
DUMONT, Jaime Willadean
MARQUARDT, Amy Elizabeth
LEE, Younghee
ZYWOTKO, David Richard
Title: AMÉLIORATION DE LA GRAVURE PAR COUCHE ATOMIQUE THERMIQUE
Abstract:
L'invention concerne un procédé permettant de favoriser la gravure par couche atomique (ALE) d'une surface. Dans certains modes de réalisation, le procédé comprend des réactions séquentielles avec un précurseur de métal et un gaz contenant un halogène. Dans d'autres modes de réalisation, la vitesse de gravure est augmentée par élimination des espèces résiduelles liées à la surface et/ou adsorbées sur celle-ci.