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1. (WO2017213623) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE DÉLAMINAGE DE FILM POLYMÈRE
Données bibliographiques PCT
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N° de publication :
WO/2017/213623
N° de la demande internationale :
PCT/US2016/036067
Date de publication :
14.12.2017
Date de dépôt international :
06.06.2016
CIB :
H01L 33/10
(2010.01) ,
H01L 33/12
(2010.01) ,
B32B 7/00
(2006.01) ,
B32B 7/06
(2006.01)
H
ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
33
Dispositifs à semi-conducteurs ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, spécialement adaptés pour l'émission de lumière; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02
caractérisés par les corps semi-conducteurs
10
ayant une structure réfléchissante, p.ex. réflecteur de Bragg en semi-conducteur
H
ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
33
Dispositifs à semi-conducteurs ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, spécialement adaptés pour l'émission de lumière; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02
caractérisés par les corps semi-conducteurs
12
ayant une structure de relaxation des contraintes, p.ex. couche tampon
B
TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
32
PRODUITS STRATIFIÉS
B
PRODUITS STRATIFIÉS, c. à d. FAITS DE PLUSIEURS COUCHES DE FORME PLANE OU NON PLANE, p.ex. CELLULAIRE OU EN NID D'ABEILLES
7
Produits stratifiés caractérisés par la relation entre les couches, c. à d. produits comprenant essentiellement des couches ayant des propriétés physiques différentes, ou produits caractérisés par la jonction entre couches
B
TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
32
PRODUITS STRATIFIÉS
B
PRODUITS STRATIFIÉS, c. à d. FAITS DE PLUSIEURS COUCHES DE FORME PLANE OU NON PLANE, p.ex. CELLULAIRE OU EN NID D'ABEILLES
7
Produits stratifiés caractérisés par la relation entre les couches, c. à d. produits comprenant essentiellement des couches ayant des propriétés physiques différentes, ou produits caractérisés par la jonction entre couches
04
caractérisés par la liaison entre couches
06
permettant une séparation sans difficultés
Déposants :
HENDRIKS, Rob, Jacob
[NL/NL]; NL (US)
SCHRODER, Kurt, A.
[US/US]; US (US)
NCC NANO, LLC
[US/US]; Three Forest Plaza, Suite 930 12221 Merit Drive Dallas, TX 75251, US
Inventeurs :
HENDRIKS, Rob, Jacob
; NL
SCHRODER, Kurt, A.
; US
Mandataire :
NG, Antony
; US
Données relatives à la priorité :
Titre
(EN)
METHOD FOR PERFORMIN DELAMINATION OF A POLYMER FILM
(FR)
PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE DÉLAMINAGE DE FILM POLYMÈRE
Abrégé :
(EN)
A method and apparatus for delaminating a polymer film from a carrier plate is disclosed. The carrier plate is at least partially transparent and has deposited on it a pixelated pattern layer of light-absorptive material, upon which is deposited a layer of light- reflective material. A polymer film, which is to be delaminated, is deposited on the light-reflecting material layer. Next, a pulsed light source is utilized to irradiate through the carrier plate from the side opposite the polymer film to heat the light-absorptive material layer. The heated areas of the light-absorptive material layer, in turn, heat the polymer film through conduction at the interface between the light-absorptive material layer and the polymer film, thereby generating gas from the polymer film by its thermal decomposition, which allows tile polymer film to be released from the carrier plate.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de délaminer un film polymère d'une plaque de support. La plaque de support est au moins partiellement transparente et comporte une couche déposée de motif pixélisé de matériau absorbant la lumière, sur laquelle est déposée une couche de matériau réfléchissant la lumière. Un film polymère, qui doit être délaminé, est déposé sur la couche de matériau réfléchissant la lumière. Ensuite, une source de lumière pulsée est utilisée pour effectuer l'exposition à un rayonnement au travers de la plaque de support depuis le côté opposé au film polymère pour chauffer la couche de matériau absorbant la lumière. Les zones chauffées de la couche de matériau absorbant la lumière, à leur tour, chauffent le film polymère par conduction au niveau de l'interface entre la couche de matériau absorbant la lumière et le film polymère, ce qui produit du gaz à partir du film polymère grâce à sa décomposition thermique, ce qui permet de libérer le film polymère en mosaïque de la plaque de support.
États désignés :
AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication :
anglais (
EN
)
Langue de dépôt :
anglais (
EN
)