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1. (WO2017213148) ANTENNE DE BALAYAGE

Pub. No.:    WO/2017/213148    International Application No.:    PCT/JP2017/021015
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed Jun 07 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01Q 3/34
G02F 1/13
G02F 1/1333
G02F 1/1368
H01L 21/336
H01L 29/786
H01Q 3/44
H01Q 13/22
H01Q 21/06
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MISAKI Katsunori
美崎 克紀
MATSUBARA Kunio
松原 邦夫
Title: ANTENNE DE BALAYAGE
Abstract:
L'invention concerne une antenne de balayage comprenant un substrat TFT, un substrat à fente et une couche de cristaux liquides (LC) Une section terminale de transfert (PT) du substrat TFT comprend : une section de chemin de connexion(15p) formée à partir de la même bande métallique à faible résistance en tant que électrode de brassage (15); une première couche métallique protectrice (25) formée sur la section de chemin de connexion(15p); et une première couche isolante (17) ayant une ouverture (18p) qui expose une partie de la surface supérieure de la première couche de métal protectrice. Une section terminale du substrat à fente comprend : une section de connexion à fente (55M) formée à partir de la mème bande métallique à faible résistance en tant que électrode à fente (55); des secondes couches métalliques protectrices (45a), (45b) formée sur la section de connexion de fente; et une seconde couche isolante (58) ayant une ouverture (58a) qui expose une partie de la surface supérieure des secondes couches de métal protectrices. Les première et seconde couches métalliques de protection ont chacune une épaisseur de 18 nm ou plus et sont chacune formées indépendamment à partir d'au moins une couche choisie dans le groupe constitué par une couche de Ti, une couche de MoNb, une couche de MoNbNi, une couche de MoNbN et une couche de MoNbNiN.