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1. (WO2017213078) PROCÉDÉ D'USINAGE PAR FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX ET APPAREIL D'USINAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/213078    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/020805
Date de publication : 14.12.2017 Date de dépôt international : 05.06.2017
CIB :
H01J 37/305 (2006.01), B23K 15/00 (2006.01), C23F 4/00 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01)
Déposants : KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 2-7-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015 (JP)
Inventeurs : TANIGAWA, Hiroumi; (JP).
MIZUKANE, Takahiro; (JP)
Mandataire : FUKUDA, Mitsuhiro; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-114851 08.06.2016 JP
Titre (EN) GAS CLUSTER ION BEAM MACHINING METHOD AND MACHINING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ D'USINAGE PAR FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX ET APPAREIL D'USINAGE
(JA) ガスクラスターイオンビーム加工方法及び加工装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a gas cluster ion beam machining method that allows a work object to be machined into an intended shape even if the work object has a rotationally asymmetric shape. The present invention is provided with: an irradiation step for irradiating a work object (WO) with a gas cluster ion beam (GCIB) via an aperture member (23) for stopping down, to a prescribed size, the GCIB radiated on the work object (WO); and a scanning step for three-dimensionally translating the work object (WO) relative to the aperture member (23) while keeping the distance between an opening (23a) of the aperture member (23) and the work object (WO) constant, wherein the relative scanning speed is controlled so as to achieve a machining target in the scanning step.
(FR)L'invention concerne un procédé d'usinage par faisceau d'ions d'amas gazeux qui permet d'usiner un objet à usiner en une forme voulue même si l'objet à usiner présente une forme sans symétrie de révolution. La présente invention comprend : une étape d'exposition consistant à exposer un objet à usiner (WO) à un faisceau d'ions d'amas gazeux (GCIB) par l'intermédiaire d'un élément d'ouverture (23) destiné à arrêter, à une taille prescrite, le GCIB émis vers l'objet à usiner (WO) ; et une étape de balayage consistant à translater en trois dimensions l'objet à usiner (WO) par rapport à l'élément d'ouverture (23) tout en maintenant constante la distance entre un orifice (23a) de l'élément d'ouverture (23) et l'objet à usiner (WO), la vitesse de balayage relative étant régulée de manière à atteindre une cible d'usinage à l'étape de balayage.
(JA)被加工物が非回転対称形状を有する場合でも、被加工物に目標形状を加工することができるガスクラスターイオンビーム加工方法を提供する。被加工物(WO)に照射するガスクラスターイオンビーム(GCIB)を所定サイズに絞るアパーチャー部材(23)を通して、GCIBを被加工物(WO)に照射する照射工程と、アパーチャー部材(23)の開口部(23a)と被加工物(WO)との間の距離を一定に保ちつつ、被加工物(WO)をアパーチャー部材(23)に対して相対的に3次元並進移動させる走査工程とを備え、走査工程において、相対走査速度を加工目標を達成するように制御する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)