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1. (WO2017213045) FILM DE GRAPHÈNE DOPÉ À L'AZOTE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION

Pub. No.:    WO/2017/213045    International Application No.:    PCT/JP2017/020603
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Jun 03 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/26
C01B 32/182
H01L 21/205
Applicants: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
国立研究開発法人産業技術総合研究所
Inventors: OKIGAWA Yuki
沖川 侑揮
YAMADA Takatoshi
山田 貴壽
ISHIHARA Masatou
石原 正統
HASEGAWA Masataka
長谷川 雅考
Title: FILM DE GRAPHÈNE DOPÉ À L'AZOTE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
Abstract:
L'invention concerne la production d'un film de graphène dopé à l'azote qui a une grande surface, et dont on peut commander la position de substitution d'un atome d'azote. Un procédé de production d'un film de graphène dopé à l'azote selon la présente invention forme un film de graphène dopé à l'azote sur une base en irradiant la base avec un plasma qui contient du CH4 et du N2. La pression partielle d'eau H2O qui est parfois présente dans le plasma est égale ou inférieure à 0,015 de la pression totale du plasma ; la pression partielle de dioxygène O2 qui est parfois présent dans le plasma est égale ou inférieure à 0,002 de la pression totale du plasma ; et la pression partielle de H2O est égale ou inférieure à 0,35 de la pression partielle de CH4 dans le plasma.