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1. (WO2017213041) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM MULTICOUCHE
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N° de publication :    WO/2017/213041    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/020587
Date de publication : 14.12.2017 Date de dépôt international : 02.06.2017
CIB :
C23C 14/54 (2006.01), B32B 37/00 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01)
Déposants : NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 1-2, Shimohozumi 1-chome, Ibaraki-shi Osaka 5678680 (JP)
Inventeurs : SHUTO, Shunsuke; (JP).
SAKI, Satoru; (JP)
Mandataire : KUSUMOTO Takayoshi; (JP).
MIKUMO Satoshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-113713 07.06.2016 JP
Titre (EN) MULTILAYER FILM FORMATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM MULTICOUCHE
(JA) 多層膜の成膜方法
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To correct the film thickness of each layer without wasting materials or time in a multilayer film formation method which involves interposing a time interval between layering each individual layer that constitutes the multilayer film. [Solution] A multilayer film formation method which involves: a step for setting a target value (target film thickness value) for the film thickness of each layer; a step for obtaining an estimated film thickness (estimated film thickness value) for each layer of the formed multilayer film 6; a step for obtaining a film formation parameter change amount for each layer, in order to minimize the difference between the estimated film thickness value and the target film thickness value of each layer; and a step for sequentially changing the film formation parameter for each layer during said time interval by the film formation parameter change amount for each layer.
(FR)Le problème à résoudre par la présente invention consiste à corriger l'épaisseur de film de chaque couche sans gaspiller de matériaux ou de temps dans un procédé de formation de film multicouche qui implique l'interposition d'un intervalle de temps entre la stratification de chaque couche individuelle qui constitue le film multicouche. À cet effet, le procédé de formation de film multicouche selon l'invention comprend : une étape pour régler une valeur cible (valeur d'épaisseur de film cible) pour l'épaisseur de film de chaque couche; une étape pour obtenir une épaisseur de film estimée (valeur d'épaisseur de film estimée) pour chaque couche du film multicouche formé 6; une étape pour obtenir une quantité de changement de paramètre de formation de film pour chaque couche, afin de minimiser la différence entre la valeur d'épaisseur de film estimée et la valeur d'épaisseur de film cible de chaque couche; et une étape pour modifier séquentiellement le paramètre de formation de film pour chaque couche pendant ledit intervalle de temps par la quantité de changement de paramètre de formation de film pour chaque couche.
(JA)【課題】多層膜を構成する各層が時間間隔をおいて1層ずつ積層される多層膜の成膜方法において、材料と時間の無駄のない各層の膜厚修正を実現する。 【解決手段】各層の膜厚の目標値(目標膜厚値)を設定するステップと、成膜された多層膜6の各層の推定膜厚(推定膜厚値)を求めるステップと、各層の目標膜厚値と推定膜厚値の差を最小化するための、各層の成膜パラメータ変更量を求めるステップと、時間間隔をおいて、各層の成膜パラメータを、各層の成膜パラメータ変更量分、順次変更するステップを含む多層膜の成膜方法。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)