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1. (WO2017212970) PELLICULE MULTICOUCHE, DISPOSITIF D’AFFICHAGE ET DISPOSITIF D’ENTRÉE

Pub. No.:    WO/2017/212970    International Application No.:    PCT/JP2017/019882
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue May 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G06F 3/041
B32B 9/00
B82Y 30/00
Applicants: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
株式会社神戸製鋼所
Inventors: SHIDA Yoko
志田 陽子
GOTO Hiroshi
後藤 裕史
Title: PELLICULE MULTICOUCHE, DISPOSITIF D’AFFICHAGE ET DISPOSITIF D’ENTRÉE
Abstract:
La présente invention porte sur une pellicule multicouche qui est obtenue par stratification séquentielle d’une première couche, d’une deuxième couche et d’une troisième couche dans cet ordre, et telle : que la première couche est une pellicule mince de métal dont la résistance électrique est inférieure ou égale à 15 µΩ .cm; que la deuxième couche est une pellicule de nitrure d’aluminium ou une pellicule de nitrure d’alliage d’aluminium contenant entre 40 % atomiques et 61 % atomiques (inclus) d’azote ; et que la troisième couche est une pellicule d’oxyde d’aluminium ou une pellicule d’oxyde d’alliage d’aluminium contenant entre 50 % atomiques et 60 % atomiques (inclus) d’oxygène, une pellicule d’oxynitrure d’aluminium ou une pellicule d’oxynitrure d’alliage d’aluminium contenant entre 50 % atomiques et 60 % atomiques (inclus) d’oxygène et entre 1 % atomiques et 10 % atomiques (inclus) d’azote, ou une pellicule de nitrure d’aluminium ou une pellicule de nitrure d’alliage d’aluminium contenant entre 50 % atomiques et 60 % atomiques (inclus) d’azote. Une pellicule multicouche selon la présente invention peut constituer une pellicule mince multicouche (une pellicule conductrice à faible réflexion) présentant à la fois une faible résistance électrique et une faible réflectance.