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1. (WO2017212879) CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE D'ALUMINIUM

Pub. No.:    WO/2017/212879    International Application No.:    PCT/JP2017/018333
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 17 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/34
C22C 21/12
C23C 14/14
H01L 51/50
H05B 33/26
Applicants: KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC.
株式会社コベルコ科研
Inventors: YOSHIDA Shintaro
▲吉▼田 慎太郎
OKUNO Hiroyuki
奥野 博行
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION EN ALLIAGE D'ALUMINIUM
Abstract:
Cette invention concerne une cible de pulvérisation en alliage d'aluminium comprenant une proportion supérieure à 6 % at et inférieure ou égale à 17 % at de Cu, le reste étant de l'Al et les inévitables impuretés. L'invention permet d'obtenir une cible de pulvérisation en alliage d'aluminium qui contribue à une amélioration de la vitesse de formation du film et qui présente une excellente aptitude à la fabrication de la cible.