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1. (WO2017212683) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE À ENTRAÎNEMENT LASER
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N° de publication : WO/2017/212683 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/004685
Date de publication : 14.12.2017 Date de dépôt international : 09.02.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01J 65/04 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
65
Lampes sans électrode à l'intérieur de l'enceinte; Lampes comportant au moins une électrode principale à l'extérieur de l'enceinte
04
Lampes à atmosphère gazeuse portée à la luminescence par un champ électromagnétique extérieur ou par une radiation corpusculaire extérieure, p.ex. lampe indicatrice
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
G
TECHNIQUE DES RAYONS X
2
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
Déposants :
ウシオ電機株式会社 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内1丁目6番5号 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150, JP
Inventeurs :
野▲崎▼ 新一郎 NOZAKI Shinichiro; JP
横田 利夫 YOKOTA Toshio; JP
朝山 淳哉 ASAYAMA Junya; JP
Mandataire :
五十畑勉男 ISOHATA Masao; JP
Données relatives à la priorité :
2016-11240306.06.2016JP
2016-15280203.08.2016JP
Titre (EN) LASER-DRIVING LIGHT SOURCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE À ENTRAÎNEMENT LASER
(JA) レーザ駆動光源装置
Abrégé :
(EN) [Problem] To attempt to provide a laser-driving light source device provided with a laser source, and a plasma container on which laser light from the laser source is condensed and made to be incident to generate plasma, wherein excitation light emitted from the plasma container is inhibited from returning to the laser source once again, and the laser source is prevented from being damaged by being heated by the returning excitation light. [Solution] The present invention is characterized in that a filter which blocks the excitation light from the plasma container is disposed between the laser source and a laser light condensing position inside the plasma container.
(FR) L’invention concerne un dispositif de source de lumière à entraînement laser qui est équipé : d’une source laser ; et d’un réceptacle pour plasma qui génère un plasma par concentration et incidence d’un faisceau laser provenant de la source laser. Plus précisément, l’invention a pour objet de fournir un dispositif de source de lumière à entraînement laser qui est tel que le retour d’une lumière d’excitation émise par le réceptacle pour plasma vers la source laser est inhibé, empêchant ainsi un endommagement du fait du chauffage de la source laser par la lumière d’excitation de retour. L’objet de l’invention est caractéristique en ce qu’un filtre bloquant la lumière d’excitation provenant dudit réceptacle pour plasma, est disposé entre ladite source laser et une position de concentration de faisceau laser à l’intérieur dudit réceptacle pour plasma.
(JA) 【課題】レーザ源と、該レーザ源からのレーザ光が集光入射されてプラズマを生成するプラズマ容器とを備えたレーザ駆動光源装置において、プラズマ容器から発せられた励起光が、再びレーザ源に戻ることを防止して、レーザ源が戻った励起光によって加熱され、破損に至ることのないようにしたレーザ駆動光源装置を提供せんとするものである。 【解決手段】前記レーザ源と前記プラズマ容器内のレーザ光集光位置との間に、前記プラズマ容器からの励起光を遮断するフィルタが配置されていることを特徴とする。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)