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1. (WO2017212077) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT AYANT UNE SURFACE DOPÉE AU BORE

Pub. No.:    WO/2017/212077    International Application No.:    PCT/EP2017/075671
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Oct 10 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/06
H01L 21/225
H01L 31/068
H01L 31/18
Applicants: EVATEC AG
Inventors: VOSER, Stephan
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT AYANT UNE SURFACE DOPÉE AU BORE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat ayant au moins une surface dopée au bore dans au moins une partie, comportant les étapes suivantes consistant à : - fournir un substrat qui, au cours d'une étape de préparation, a été introduit dans une installation de traitement sous vide et y a été traité au moyen d'un procédé de dépôt physique en phase vapeur ou d'un procédé de dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma avec une première couche contenant du bore; - et à tremper le substrat pour diffuser le bore dans la surface.