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1. (WO2017211977) DISSIPATEURS THERMIQUES DE TYPE DIAMANT SYNTHÉTIQUE

Pub. No.:    WO/2017/211977    International Application No.:    PCT/EP2017/064003
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Jun 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/27
H01L 21/02
H01L 23/373
Applicants: ELEMENT SIX TECHNOLOGIES LIMITED
Inventors: TWITCHEN, Daniel
Title: DISSIPATEURS THERMIQUES DE TYPE DIAMANT SYNTHÉTIQUE
Abstract:
L'invention concerne un dissipateur thermique de type diamant synthétique, qui comprend une première couche de matériau de diamant synthétique formant une couche de support de base et une seconde couche de matériau de diamant synthétique disposée sur la première couche de matériau de diamant synthétique et formant une couche de surface de diamant. La couche de surface de diamant a une épaisseur inférieure ou égale à l'épaisseur de la couche de support de base. La couche de surface de diamant a une teneur en azote inférieure à celle de la couche de support de base. La teneur en azote de la couche de surface de diamant et de la couche de support de diamant est choisie de telle sorte que la conductivité thermique de la couche de support de base se situe dans une plage de 1000 W/mK à 1800 W/mK et la conductivité thermique de la couche de support de surface se situe dans une plage de 1900 W/mK à 2800 W/mK.