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1. (WO2017211694) SOURCE DE RAYONNEMENT
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N° de publication :    WO/2017/211694    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/063356
Date de publication : 14.12.2017 Date de dépôt international : 01.06.2017
CIB :
G03F 9/00 (2006.01), G02F 1/365 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : KUMAR, Nitish; (NL).
HUISMAN, Simon, Reinald; (NL)
Mandataire : KETTING, Alfred; (NL)
Données relatives à la priorité :
16173625.1 09.06.2016 EP
Titre (EN) RADIATION SOURCE
(FR) SOURCE DE RAYONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A supercontinuum radiation source for an alignment mark measurement system comprises: a radiation source; illumination optics; a plurality of waveguides; and collection optics. The radiation source is operable to produce a pulsed radiation beam. The illumination optics is arranged to receive the pulsed pump radiation beam and to form a plurality of pulsed sub-beams, each pulsed sub-beam comprising a portion of the pulsed radiation beam. Each of the plurality of waveguides is arranged to receive at least one of the plurality of pulsed sub-beams beam and to broaden a spectrum of that pulsed sub- beam so as to generate a supercontinuum sub-beam. The collection optics is arranged to receive the supercontinuum sub-beam from each of the plurality of waveguides and to combine them so as to form a supercontinuum radiation beam.
(FR)La présente invention concerne une source de rayonnement de supercontinuum pour un système de mesure de repère d'alignement, qui comprend : une source de rayonnement ; une optique d'éclairage ; une pluralité de guides d'ondes ; et une optique de collecte. La source de rayonnement sert à produire un faisceau de rayonnement pulsé. L'optique d'éclairage est destinée à recevoir le faisceau de rayonnement pulsé et former une pluralité de sous-faisceaux pulsés, chaque sous-faisceau pulsé comprenant une partie du faisceau de rayonnement pulsé. Chacun de la pluralité de guides d'ondes est destiné à recevoir au moins un parmi la pluralité de sous-faisceaux pulsés et à élargir un spectre de ce sous-faisceau pulsé afin de générer un sous-faisceau de supercontinuum. L'optique de collecte est destinée à recevoir le sous-faisceau de supercontinuum provenant de chacun de la pluralité de guides d'ondes et à combiner ces derniers afin de former un faisceau de rayonnement de supercontinuum.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)