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1. (WO2017211538) PROCÉDÉ DE MODÉLISATION D'UN SYSTÈME DE PROJECTION

Pub. No.:    WO/2017/211538    International Application No.:    PCT/EP2017/061565
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue May 16 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: IMPONENTE, Giovanni
FRISCO, Pierluigi
Title: PROCÉDÉ DE MODÉLISATION D'UN SYSTÈME DE PROJECTION
Abstract:
Un modèle de système de projection est configuré pour prédire des aberrations optiques d'un système de projection sur la base d'un ensemble de caractéristiques de système de projection, et pour déterminer et émettre un ensemble d'ajustements d'éléments optiques sur la base d'une fonction de mérite. La fonction de mérite comprend un ensemble de paramètres et de pondérations correspondantes. Le procédé consiste à recevoir une fonction de mérite initiale et à exécuter un algorithme d'optimisation pour déterminer une seconde fonction de mérite. L'algorithme d'optimisation évalue différentes fonctions de mérite sur la base des caractéristiques du système de projection d'un système de projection réglé selon la sortie du modèle de système de projection à l'aide d'une fonction de mérite possédant cet ensemble de paramètres et de pondérations.