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1. (WO2017211510) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN APPAREIL ET D'UN DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE
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N° de publication :    WO/2017/211510    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/060741
Date de publication : 14.12.2017 Date de dépôt international : 05.05.2017
CIB :
H02K 41/03 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : FISCHER, Olof, Martinus, Josephus; (NL).
COX, Hendrikus, Herman, Marie; (NL)
Mandataire : VERHOEVEN, Johannes; (NL)
Données relatives à la priorité :
16173627.7 09.06.2016 EP
Titre (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN APPAREIL ET D'UN DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE
Abrégé : front page image
(EN)An electromagnetic actuator is described the actuator comprising: - a magnet assembly comprising: o an array of permanent magnets arranged in a first direction and configured to generate, outside the magnet assembly, a spatially varying magnetic field distribution in the first direction; o a ferromagnetic member onto which the array of permanent magnets is mounted; - a coil assembly, at least partly arranged in the spatially varying magnetic field distribution, configured to co-operate with the magnet assembly to generate an electromagnetic force; wherein a thickness of the array of permanent magnets in a second direction perpendicular to the first direction varies along the first direction and wherein a thickness of the ferromagnetic member in the second direction varies along the first direction such that a combined thickness of the array of permanent magnets and the ferromagnetic member in the second direction is substantially constant along the first direction.
(FR)L'invention concerne un actionneur électromagnétique qui est équipé : d'un ensemble d'aimants comprenant un réseau d'aimants permanents, agencé dans une première direction et conçu de façon à générer, à l'extérieur de l'ensemble d'aimants, une distribution de champ magnétique variable dans l'espace dans la première direction, et un élément ferromagnétique sur lequel est monté le réseau d'aimants permanents ; d'un ensemble bobine, au moins partiellement agencé dans la distribution de champ magnétique variable dans l'espace, conçu de façon à coopérer avec l'ensemble d'aimants de manière à générer une force électromagnétique, une épaisseur du réseau d'aimants permanents dans une seconde direction perpendiculaire à la première direction variant dans la première direction, et une épaisseur de l'élément ferromagnétique dans la seconde direction variant dans la première direction, de telle sorte qu'une épaisseur combinée du réseau d'aimants permanents et de l'élément ferromagnétique dans la seconde direction est sensiblement constante dans la première direction.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)