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1. (WO2017210450) SYSTÈME DE COMMANDE POUR COMMANDER UN ACTIONNEUR À FLUIDE
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N° de publication : WO/2017/210450 N° de la demande internationale : PCT/US2017/035488
Date de publication : 07.12.2017 Date de dépôt international : 01.06.2017
CIB :
F15B 9/08 (2006.01) ,F15B 11/028 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
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DISPOSITIFS DE MANŒUVRE À PRESSION DE FLUIDE; HYDRAULIQUE OU TECHNIQUE PNEUMATIQUE EN GÉNÉRAL
B
SYSTÈMES FONCTIONNANT AU MOYEN DE FLUIDES EN GÉNÉRAL; DISPOSITIFS DE MANŒUVRE FONCTIONNANT PAR PRESSION DE FLUIDE, p.ex. SERVOMOTEURS; PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS DES SYSTÈMES À PRESSION DE FLUIDE, NON PRÉVUS AILLEURS
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Servomoteurs à asservissement, c. à d. dans lesquels la position de l'organe commandé correspond à celle de l'organe qui commande
02
les servomoteurs étant du type à mouvement possible alternatif ou oscillant
08
commandés par des clapets agissant sur l'alimentation de fluide ou sur l'orifice de sortie du fluide du servomoteur
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
15
DISPOSITIFS DE MANŒUVRE À PRESSION DE FLUIDE; HYDRAULIQUE OU TECHNIQUE PNEUMATIQUE EN GÉNÉRAL
B
SYSTÈMES FONCTIONNANT AU MOYEN DE FLUIDES EN GÉNÉRAL; DISPOSITIFS DE MANŒUVRE FONCTIONNANT PAR PRESSION DE FLUIDE, p.ex. SERVOMOTEURS; PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS DES SYSTÈMES À PRESSION DE FLUIDE, NON PRÉVUS AILLEURS
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Systèmes de servomoteurs dépourvus d'asservissement
02
Systèmes comportant essentiellement des moyens particuliers pour régler la vitesse ou la puissance d'un organe de sortie
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pour régler la puissance
Déposants :
NIKON CORPORATION [JP/JP]; Shinagawa Intercity Tower C, 2-15-3 Konan, Minato-ku, Tokyo, JP
Inventeurs :
YANG, Pai-hsueh; US
CHOI, Yeong-jun; US
CHANG, Ping-wei; US
SAKATA, Koichi; JP
LEE, Sandy; US
Mandataire :
ROEDER, Steven, G.; US
Données relatives à la priorité :
62/344,26201.06.2016US
Titre (EN) CONTROL SYSTEM FOR CONTROLLING A FLUID ACTUATOR
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE POUR COMMANDER UN ACTIONNEUR À FLUIDE
Abrégé :
(EN) A stage assembly (10) for positioning a workpiece (22) includes a stage (14), a base (12), a fluid actuator assembly (24), and a control system (20). The fluid actuator assembly (24) moves the stage (14) along the movement axis (30) relative to the base (12). The fluid actuator assembly (24) includes a piston housing (32) that defines a piston chamber (34), a piston (36) that is positioned within and moves relative to the piston chamber (34) along a piston axis (36A), and a valve assembly (38) that controls the flow of a piston fluid into the piston chamber (34). The valve assembly (38) includes an inlet valve (38C) having an inlet valve characteristic. The control system (20) controls the valve assembly (38) to control the flow of the piston fluid into the piston chamber (34). The control system (20) can utilize an inverse of the inlet valve characteristic to control the valve assembly (38).
(FR) Selon l'invention, un ensemble de platine (10) pour positionner une pièce à travailler (22) comprend une platine (14), une base (12), un ensemble d'actionneur à fluide (24) et un système de commande (20). L'ensemble d'actionneur de fluide (24) déplace la platine (14) le long de l'axe de déplacement (30) par rapport à la base (12). L'ensemble d'actionneur de fluide (24) comprend un boîtier de piston (32) qui définit une chambre de piston (34), un piston (36) qui est positionné à l'intérieur de la chambre de piston et qui se déplace par rapport à cette dernière (34) le long d'un axe de piston (36A), et un ensemble de vanne (38) qui commande l'écoulement d'un fluide de piston dans la chambre de piston (34). L'ensemble de vanne (38) comprend une vanne d'entrée (38C) ayant une caractéristique de vanne d'entrée. Le système de commande (20) commande l'ensemble de vanne (38) pour commander l'écoulement du fluide de piston dans la chambre de piston (34). Le système de commande (20) peut utiliser un inverse de la caractéristique de vanne d'entrée pour commander l'ensemble de vanne (38).
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)