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1. (WO2017210450) SYSTÈME DE COMMANDE POUR COMMANDER UN ACTIONNEUR À FLUIDE
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N° de publication :    WO/2017/210450    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/035488
Date de publication : 07.12.2017 Date de dépôt international : 01.06.2017
CIB :
F15B 9/08 (2006.01), F15B 11/028 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; Shinagawa Intercity Tower C, 2-15-3 Konan, Minato-ku, Tokyo (JP)
Inventeurs : YANG, Pai-hsueh; (US).
CHOI, Yeong-jun; (US).
CHANG, Ping-wei; (US).
SAKATA, Koichi; (JP).
LEE, Sandy; (US)
Mandataire : ROEDER, Steven, G.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/344,262 01.06.2016 US
Titre (EN) CONTROL SYSTEM FOR CONTROLLING A FLUID ACTUATOR
(FR) SYSTÈME DE COMMANDE POUR COMMANDER UN ACTIONNEUR À FLUIDE
Abrégé : front page image
(EN)A stage assembly (10) for positioning a workpiece (22) includes a stage (14), a base (12), a fluid actuator assembly (24), and a control system (20). The fluid actuator assembly (24) moves the stage (14) along the movement axis (30) relative to the base (12). The fluid actuator assembly (24) includes a piston housing (32) that defines a piston chamber (34), a piston (36) that is positioned within and moves relative to the piston chamber (34) along a piston axis (36A), and a valve assembly (38) that controls the flow of a piston fluid into the piston chamber (34). The valve assembly (38) includes an inlet valve (38C) having an inlet valve characteristic. The control system (20) controls the valve assembly (38) to control the flow of the piston fluid into the piston chamber (34). The control system (20) can utilize an inverse of the inlet valve characteristic to control the valve assembly (38).
(FR)Selon l'invention, un ensemble de platine (10) pour positionner une pièce à travailler (22) comprend une platine (14), une base (12), un ensemble d'actionneur à fluide (24) et un système de commande (20). L'ensemble d'actionneur de fluide (24) déplace la platine (14) le long de l'axe de déplacement (30) par rapport à la base (12). L'ensemble d'actionneur de fluide (24) comprend un boîtier de piston (32) qui définit une chambre de piston (34), un piston (36) qui est positionné à l'intérieur de la chambre de piston et qui se déplace par rapport à cette dernière (34) le long d'un axe de piston (36A), et un ensemble de vanne (38) qui commande l'écoulement d'un fluide de piston dans la chambre de piston (34). L'ensemble de vanne (38) comprend une vanne d'entrée (38C) ayant une caractéristique de vanne d'entrée. Le système de commande (20) commande l'ensemble de vanne (38) pour commander l'écoulement du fluide de piston dans la chambre de piston (34). Le système de commande (20) peut utiliser un inverse de la caractéristique de vanne d'entrée pour commander l'ensemble de vanne (38).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)