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1. (WO2017210354) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PROGICIEL INFORMATIQUE POUR LA GÉNÉRATION AUTOMATIQUE D’UNE IMAGE DE PLAQUETTE POUR CONCEVOIR UN MAPPAGE DE COORDONNÉES
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N° de publication : WO/2017/210354 N° de la demande internationale : PCT/US2017/035300
Date de publication : 07.12.2017 Date de dépôt international : 31.05.2017
CIB :
G06F 17/50 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs : BHATTACHARYYA, Santosh; US
Mandataire : McANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N.; US
Données relatives à la priorité :
15/367,07601.12.2016US
62/343,85301.06.2016US
Titre (EN) SYSTEM, METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT FOR AUTOMATICALLY GENERATING A WAFER IMAGE TO DESIGN COORDINATE MAPPING
(FR) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PROGICIEL INFORMATIQUE POUR LA GÉNÉRATION AUTOMATIQUE D’UNE IMAGE DE PLAQUETTE POUR CONCEVOIR UN MAPPAGE DE COORDONNÉES
Abrégé : front page image
(EN) A system, method, and computer program product are provided for automatically generating a wafer image to design coordinate mapping. In use, a design of a wafer is received by a computer processor. In addition, an image of a wafer fabricated from the design is received by the computer processor. Further, a coordinate mapping between the design and the image is automatically generated by the computer processor.
(FR) L’invention concerne un système, un procédé et un progiciel informatique pour la génération automatique d’une image de plaquette pour concevoir un mappage de coordonnées. Pendant l’utilisation, un modèle d’une plaquette est reçu par un processeur informatique. Par ailleurs, une image d’une plaquette fabriquée à partir du modèle est reçue par le processeur informatique. En outre, un mappage de coordonnées entre le modèle et l’image est généré automatiquement par le processeur informatique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)