Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2017210293) CIRCUIT DE FLUIDE À ATTÉNUATION DE DÉCHARGE ÉLECTROSTATIQUE INTÉGRÉE

Pub. No.:    WO/2017/210293    International Application No.:    PCT/US2017/035213
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: F16L 25/01
F16L 47/04
Applicants: ENTEGRIS, INC.
Inventors: LEYS, John
Title: CIRCUIT DE FLUIDE À ATTÉNUATION DE DÉCHARGE ÉLECTROSTATIQUE INTÉGRÉE
Abstract:
L'invention concerne un circuit (160) de fluide définissant un trajet d'écoulement destiné à un fluide depuis une alimentation en fluide (152) vers un étage de procédé (156). Le circuit de fluide peut comprendre une pluralité de composants fonctionnels (168) comprenant une partie corps (182) et une pluralité de raccords de connecteur de tube (186). Les composants fonctionnels peuvent être reliés par une pluralité de segments de tube (164). Chaque partie corps peut comprendre une partie en fluoropolymère non conducteur et un conducteur extérieur (234) qui s'étend entre chacun de la pluralité de raccords de connecteur de tube et qui est d'un seul tenant avec la partie en fluoropolymère non conducteur. La pluralité de segments de tube peut comprendre une partie de tube (187) en fluoropolymère non conducteur et une bande axiale (188) en polymère conducteur. Le conducteur externe de chaque partie de corps est relié par conduction aux segments de tube qui y sont reliés. Chacun des connecteurs peut comprendre un composant de pontage (262) destiné à relier par conduction le conducteur externe respectif de la partie de corps à la bande de polymère conducteur des segments de tube de raccordement.