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1. (WO2017209802) CONCEPTION EFFICACE ET INNOVANTE POUR RÉDUIRE LE NOMBRE DE PARTICULES ET AMÉLIORER LA QUALITÉ DE TRANCHE PAR DIFFUSION DE L'ÉCOULEMENT À L'INTÉRIEUR DE LA CHAMBRE

Pub. No.:    WO/2017/209802    International Application No.:    PCT/US2017/014864
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jan 26 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/02
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: PANDEY, Vishwas Kumar
SHAH, Kartik
TONG, Edric
VASUDEVA, Prashanth
Title: CONCEPTION EFFICACE ET INNOVANTE POUR RÉDUIRE LE NOMBRE DE PARTICULES ET AMÉLIORER LA QUALITÉ DE TRANCHE PAR DIFFUSION DE L'ÉCOULEMENT À L'INTÉRIEUR DE LA CHAMBRE
Abstract:
Selon des modes de réalisation, la présente invention concerne de façon générale une chambre de traitement comportant un ou plusieurs orifices d'entrée de gaz situés au niveau du fond de la chambre de traitement. Du gaz entrant dans la chambre de traitement par le ou les orifices d'entrée de gaz est dirigé le long d'une paroi latérale inférieure de la chambre de traitement par une plaque située au-dessus de chacun du ou des orifices d'entrée de gaz, ou par une ouverture oblique de chacun du ou des orifices d'entrée de gaz. Le ou les orifices d'entrée de gaz et les plaques peuvent être situés à une extrémité de la chambre de traitement, et l'écoulement de gaz est dirigé vers un orifice d'échappement situé à l'extrémité opposée de la chambre de traitement par les plaques ou les ouvertures obliques. Ainsi, davantage de gaz peut s'écouler dans la chambre de traitement sans déloger des particules d'un couvercle de la chambre de traitement.