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1. (WO2017209177) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILMS DURCIS, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE STRATIFIÉS, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'ÉLÉMENTS À SEMI-CONDUCTEURS

Pub. No.:    WO/2017/209177    International Application No.:    PCT/JP2017/020250
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/40
C08G 73/10
C08G 73/22
G03F 7/037
G03F 7/20
H01L 21/56
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: INUJIMA Takayoshi
犬島 孝能
FUKUHARA Kei
福原 慶
VANCLOOSTER Stefan
ヴァンクロースター ステファン
ITO Katsuyuki
伊藤 勝志
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILMS DURCIS, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE STRATIFIÉS, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'ÉLÉMENTS À SEMI-CONDUCTEURS
Abstract:
L'invention concerne un procédé de production de films durcis qui peut limiter le gauchissement du substrat d'un stratifié comportant un substrat et un film durci; un procédé de production de stratifiés qui peut limiter le décollement d'un stratifié comportant un substrat, une couche durcie et une couche métallique; et un procédé de production d'éléments à semi-conducteurs. Le présent procédé de production de stratifiés fait intervenir, dans l'ordre: une étape de formation de couche de composition de résine photosensible visant à appliquer une composition de résine photosensible au substrat et à lui conférer la forme d'une couche; une étape d'exposition visant à exposer la couche de composition de résine photosensible; une étape de traitement de développement visant à effectuer un traitement de développement sur la couche de composition de résine photosensible exposée; et une étape de durcissement visant à durcir la couche de composition de résine photosensible après le traitement de développement, l'étape de durcissement faisant intervenir une étape de chauffage visant à chauffer la couche de composition de résine photosensible jusqu'à une température supérieure ou égale à la température de transition vitreuse, et une étape de refroidissement visant à refroidir la couche de composition de résine photosensible après l'étape de chauffage à une vitesse de refroidissement ne dépassant pas 2°/min.