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1. (WO2017209176) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRATIFIÉ, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT SEMI-CONDUCTEUR, ET STRATIFIÉ

Pub. No.:    WO/2017/209176    International Application No.:    PCT/JP2017/020249
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/40
G03F 7/037
G03F 7/20
G03F 7/38
H01L 21/312
H01L 25/065
H01L 25/07
H01L 25/18
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: INUJIMA Takayoshi
犬島 孝能
FUKUHARA Kei
福原 慶
VANCLOOSTER Stefan
ヴァンクロースター ステファン
ITO Katsuyuki
伊藤 勝志
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRATIFIÉ, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT SEMI-CONDUCTEUR, ET STRATIFIÉ
Abstract:
La présente invention a trait à un procédé de fabrication de stratifié qui peut empêcher la délamination d'un stratifié comportant un substrat, une couche durcie et une couche métallique ; à un procédé de fabrication d'élément semi-conducteur ; et à un stratifié. Ce procédé de fabrication de stratifié comprend, dans l'ordre : une étape de formation de couche de composition de résine photosensible, qui consiste à appliquer une composition de résine photosensible sur le substrat et à lui donner une forme de couche ; une étape d'exposition qui consiste à exposer la couche de composition de résine photosensible appliquée sur le substrat ; une étape de traitement de développement qui consiste à effectuer un traitement de développement sur cette couche de composition de résine photosensible exposée ; une étape de durcissement qui consiste à faire durcir ladite couche de composition de résine photosensible après le développement ; et une étape de formation de couche métallique qui consiste à former une couche métallique, à l'aide d'une formation de film en phase gazeuse, sur la surface de la couche de composition de résine photosensible après l'étape de durcissement, la température de cette couche de composition de résine photosensible après l'étape de durcissement lors de la formation de la couche métallique étant inférieure à la température de transition vitreuse de ladite couche de composition de résine photosensible après l'étape de durcissement.