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1. (WO2017209079) DISPOSITIF D'OBSERVATION ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION

Pub. No.:    WO/2017/209079    International Application No.:    PCT/JP2017/019977
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue May 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 21/64
G01N 21/27
G01N 21/65
G02B 21/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: FUKUTAKE Naoki
福武 直樹
Title: DISPOSITIF D'OBSERVATION ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION
Abstract:
Un dispositif d'observation selon un mode de réalisation de la présente invention comporte : une source lumineuse qui émet de la lumière sur une cible d'observation; et une unité de traitement qui génère une image sur la base de la lumière dérivée χ(3)- comprise dans la lumière obtenue à partir de la cible d'observation.