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1. (WO2017208815) DISPOSITIF DE MISE EN CORRESPONDANCE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
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N° de publication :    WO/2017/208815    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/018458
Date de publication : 07.12.2017 Date de dépôt international : 17.05.2017
CIB :
H05H 1/46 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : TORII Natsumi; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; (JP).
KUROKI Yoshiki; (JP).
KASHIOKA Junji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-109001 31.05.2016 JP
Titre (EN) MATCHING DEVICE AND PLASMA TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MISE EN CORRESPONDANCE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) 整合器及びプラズマ処理装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a matching device that can realize high-speed matching operation. The matching device of one embodiment is provided with a series part, a parallel part, and at least one variable DC power supply. The series part includes a first diode having variable capacity, and is provided between a high-frequency input terminal and a high-frequency output terminal. The parallel part includes a second diode having variable capacity, and is provided between a node that is between the input terminal and the output terminal, and a ground. The at least one variable DC power supply is provided so that a variable reverse bias voltage is applied to the first diode and the second diode.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de mise en correspondance qui peut réaliser une opération de mise en correspondance à grande vitesse. Le dispositif de mise en correspondance selon un mode de réalisation comporte une partie en série, une partie en parallèle et au moins une alimentation en courant continu variable. La partie en série comprend une première diode ayant une capacité variable, et est disposée entre une borne d'entrée haute fréquence et une borne de sortie haute fréquence. La partie en parallèle comprend une seconde diode ayant une capacité variable, et est disposée entre un nœud qui se trouve entre la borne d'entrée et la borne de sortie, et une masse. La ou les alimentations en courant continu variable sont prévues de sorte qu'une tension de polarisation inverse variable soit appliquée à la première diode et à la seconde diode.
(JA)高速な整合動作を実現可能な整合器を提供する。一実施形態の整合器は、直列部、並列部、及び、一以上の可変直流電源を備える。直列部は、可変容量を有する第1のダイオードを含み、高周波の入力端と高周波の出力端との間に設けられている。並列部は、可変容量を有する第2のダイオードを含み、入力端と出力端との間のノードとグランドとの間に設けられている。一以上の可変直流電源は、第1のダイオード及び第2のダイオードに可変の逆バイアス電圧を印加するよう設けられている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)