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1. (WO2017208706) DISPOSITIF DE MODIFICATION DE SURFACE

Pub. No.:    WO/2017/208706    International Application No.:    PCT/JP2017/016943
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: B29C 71/04
Applicants: KASUGA DENKI, INC.
春日電機株式会社
Inventors: OGISO Satoru
小木曽 智
MORISHITA Takao
森下 貴生
INAMURA Tatsuya
稲村 達也
YOSHIDA Junya
吉田 純也
SUGIMURA Satoshi
杉村 智
Title: DISPOSITIF DE MODIFICATION DE SURFACE
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de permettre la libération directe du gaz d'une électrode de décharge et de rendre sa configuration simple. La solution selon l’invention porte sur une électrode de décharge (E) dans une chambre d'électrode (C) formée d'une paire d'éléments électrode (8) et (9) ayant des longueurs égales ou supérieures à une largeur d'un film (F). De plus, la paire d'éléments électrode (8) et (9) est disposée de sorte que lesdits éléments électrode se fasse face de façon à prendre en sandwich un élément support (4) entre eux, qui a pratiquement la même longueur que les éléments électrode ; un espace est formé dans une section dans laquelle la paire d'éléments électrode (8) et (9) se font face ; et cet espace est ouvert à la pointe de l'électrode de décharge de manière à servir de passage de gaz (15). En outre, dans l'élément support (4) susmentionné, une pluralité de trous de guidage de gaz est formée dans sa direction longitudinale, et les trous de guidage de gaz sont en communication avec un système d'alimentation en gaz.