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1. (WO2017208560) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE DESTINÉ À LA MESURE DE CHAMP MAGNÉTIQUE, ET PROCÉDÉ DE MESURE DE CHAMP MAGNÉTIQUE

Pub. No.:    WO/2017/208560    International Application No.:    PCT/JP2017/009982
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Mar 14 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 37/22
H01J 37/20
H01J 37/26
Applicants: HITACHI, LTD.
株式会社日立製作所
Inventors: TANIGAKI Toshiaki
谷垣 俊明
SUGAWARA Akira
菅原 昭
AKASHI Tetsuya
明石 哲也
Title: MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE DESTINÉ À LA MESURE DE CHAMP MAGNÉTIQUE, ET PROCÉDÉ DE MESURE DE CHAMP MAGNÉTIQUE
Abstract:
L'invention concerne un microscope électronique destiné à mesurer des informations de champ électromagnétique, la distribution du champ électrique et la distribution du champ magnétique d'un échantillon étant isolées et mesurées d'une manière très précise. Cette invention comprend une source d'électrons (1), une bobine de déviation de canon à électrons (3), des lentilles convergentes (4a, 4b), une bobine de correction d'astigmatisme de système d'exposition (5), une bobine de déviation de système d'exposition (6), une bobine d'application de champ magnétique (8), une lentille de focalisation (11), une bobine de correction d'astigmatisme de système d'imagerie (12), des bobines de déviation de système d'imagerie (13a, 13b), une lentille grossissante (17), un détecteur d'électrons (18) et un dispositif d'analyse de commande (20), etc. Un premier champ magnétique est appliqué à un échantillon d'analyse de commande (10), puis une première commande de faisceau d'électrons est effectuée et des premières informations de champ électromagnétique sont mesurées par le signal de sortie du détecteur d'électrons. Ensuite, un second champ magnétique est appliqué, puis une seconde commande de faisceau d'électrons est effectuée et des secondes informations de champ électromagnétique sont mesurées d'une manière similaire. Le processus ci-dessus est répété plusieurs fois, et la distribution du champ électrique et la distribution du champ magnétique de l'échantillon sont isolées et mesurées d'une manière très précise à partir des premières et secondes informations de champ électromagnétique obtenues.