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1. (WO2017207336) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
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N° de publication : WO/2017/207336 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/062354
Date de publication : 07.12.2017 Date de dépôt international : 23.05.2017
CIB :
B81B 7/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
7
Systèmes à microstructure
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
CARDANOBILE, Stefano; DE
EID, Rudy; DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 209 732.602.06.2016DE
Titre (EN) MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
Abrégé :
(EN) The invention proposes a micromechanical component having a substrate which extends along a plane of main extent of the micromechanical component, wherein the micromechanical component comprises a first electrode, which is fixed to the substrate by means of a first suspension means, and a second electrode, which is fixed to the substrate by means of a second suspension means, wherein the first suspension means is arranged along a first longitudinal axis of the first electrode at a distance from a first end face and a second end face of the first electrode, wherein the second suspension means is arranged along a second longitudinal axis of the second electrode at a distance from a third end face and a fourth end face of the second electrode, wherein the first suspension means and the second suspension means are formed in such a way that a first projection of the first suspension means onto a projection area which extends perpendicular to the plane of main extent and parallel to the first longitudinal axis of the first electrode and a second projection of the second suspension means onto the projection area are disjunct.
(FR) L’invention concerne un composant micromécanique comportant un substrat s’étendant le long d’un plan longitudinal principal du composant micromécanique. Le composant micromécanique comprend une première électrode fixée au substrat par une première suspension et une deuxième électrode fixée au substrat par une deuxième suspension. La première suspension est espacée d’une première face frontale et d’une deuxième face frontale de la première électrode le long d’un premier axe longitudinal de la première électrode. La deuxième suspension est espacée d’une troisième face frontale et d’une quatrième face frontale de la deuxième électrode le long d’un deuxième axe longitudinal de la deuxième électrode. La première suspension et la deuxième suspension sont formées de telle sorte qu’une première projection de la première suspension sur une surface de projection perpendiculaire au plan d’extension principal et parallèle au premier axe longitudinal de la première électrode et une deuxième projection de la deuxième suspension sur la surface de projection sont disjointes.
(DE) Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem sich entlang einer Haupterstreckungsebene des mikromechanischen Bauelements erstreckenden Substrat vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement eine an dem Substrat über eine erste Aufhängung fixierte erste Elektrode und eine an dem Substrat über eine zweite Aufhängung fixierte zweite Elektrode umfasst, wobei die erste Aufhängung entlang einer ersten Längsachse der ersten Elektrode von einer ersten Stirnfläche und einer zweiten Stirnfläche der ersten Elektrode beabstandet angeordnet ist, wobei die zweite Aufhängung entlang einer zweiten Längsachse der zweiten Elektrode von einer dritten Stirnfläche und einer vierten Stirnfläche der zweiten Elektrode beabstandet angeordnet ist, wobei die erste Aufhängung und die zweite Aufhängung derart ausgebildet sind, dass eine erste Projektion der ersten Aufhängung auf eine senkrecht zu der Haupterstreckungsebene und parallel zu der ersten Längsachse der ersten Elektrode erstreckende Projektionsfläche und eine zweite Projektion der zweiten Aufhängung auf die Projektionsfläche disjunkt sind.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)