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1. (WO2017207331) ENSEMBLE FILTRE DE CHAMP

Pub. No.:    WO/2017/207331    International Application No.:    PCT/EP2017/062331
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 21/00
G02B 5/20
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: WALD, Matthias
HUHSE, Dieter
Title: ENSEMBLE FILTRE DE CHAMP
Abstract:
L'invention concerne un ensemble filtre de champ (1) comprenant un filtre de champ (2) qui peut changer de place relativement à la marche des rayons et se trouve dans un plan filtrant de consigne ainsi qu'un miroir (4) dans un plan de symétrie (4.1). Selon l'invention, le plan de symétrie (4.1) et le plan filtrant de consigne sont orientés de manière fixe l'un par rapport à l'autre et relativement l'un à l'autre, de sorte qu'un faisceau de rayons lumineux (6) arrivant à un angle d'incidence le long de la trajectoire des rayons est réfléchi au moins en partie entre le filtre de champ (2) et le miroir (4), de manière qu'au moins une double déviation du faisceau lumineux (6) incident se produit à travers l'ensemble filtre de champ (1) et que le rayon lumineux (7) réfléchi est réfléchi, sous forme de faisceau de rayons lumineux (7) réfléchis, à partir de l'ensemble filtre de champ (1) en un angle de déviation (a), l'effet optique d'une erreur d'angle présente entre le plan filtrant de consigne et un plan filtrant réel (2.1), donné par la position instantanée du plan principal du filtre de champ (2), est réduit suite à la déviation au moins double et l'angle de déviation (a) demeure constant. L'invention concerne en outre des systèmes optiques (16) comprenant un ensemble filtre de champ (1) ainsi que des utilisations dudit ensemble filtre de champ (1).