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1. (WO2017207300) UNITÉ DE DÉCHARGE ÉLECTROSTATIQUE

Pub. No.:    WO/2017/207300    International Application No.:    PCT/EP2017/062103
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat May 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/677
Applicants: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
Inventors: SKUPIN, Andreas
RENNER, Markus
Title: UNITÉ DE DÉCHARGE ÉLECTROSTATIQUE
Abstract:
L'invention concerne une unité de décharge électrostatique permettant notamment une mise à niveau facile et souple de modules et de dispositifs de traitement existants pour assurer une décharge efficace de substrats. L'invention concerne en outre l'utilisation de telles unités de décharge électrostatique, et un procédé de décharge de substrats mettant en oeuvre ces unités de décharge électrostatique.