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1. (WO2017207068) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE PLAQUE DE SUPPORT ET PLAQUE DE SUPPORT

Pub. No.:    WO/2017/207068    International Application No.:    PCT/EP2016/065872
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed Jul 06 01:59:59 CEST 2016
IPC: B32B 18/00
C04B 35/83
C04B 37/00
H01L 21/00
Applicants: SCHUNK KOHLENSTOFFTECHNIK GMBH
Inventors: VOLLMER, Andreas
SCHNEIDER, Martin
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE PLAQUE DE SUPPORT ET PLAQUE DE SUPPORT
Abstract:
L'invention concerne une plaque de support (13) et un procédé de production d'une plaque de support servant en particulier à la réception et à la manipulation de produits semi-conducteurs, plaquettes ou analogue, des couches de tissu fibreux constituées de fibres de carbone étant agencées de manière à former une pile, ces couches de tissu fibreux étant imprégnées d'une résine, cette résine étant durcie et pyrolysée, la pile de couches étant ensuite soumise à une graphitisation, une première couche de tissu fibreux de la pile étant constituée d'un premier tissu fibreux comportant des fils continus dont le nombre de fibres individuelles est supérieur ou égal à 12 K et une deuxième couche de tissu fibreux de la pile étant constituée d'un deuxième tissu fibreux comportant des fils continus dont le nombre de fibres individuelles est inférieur ou égal à 6 K.