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1. (WO2017206828) ENSEMBLE DE LAMES DE COUTEAU DE DISPOSITIF D'ALIGNEMENT DE MASQUE, DISPOSITIF D'ALIGNEMENT DE MASQUE À GRAND CHAMP DE VISION, ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
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N° de publication :    WO/2017/206828    N° de la demande internationale :    PCT/CN2017/086270
Date de publication : 07.12.2017 Date de dépôt international : 27.05.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventeurs : WANG, Bin; (CN).
YANG, Xiaofeng; (CN).
XIA, Hongfa; (CN)
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335 (CN)
Données relatives à la priorité :
201610378442.9 31.05.2016 CN
Titre (EN) KNIFE EDGE SET OF MASK ALIGNER, LARGE-VIEW-FIELD MASK ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD
(FR) ENSEMBLE DE LAMES DE COUTEAU DE DISPOSITIF D'ALIGNEMENT DE MASQUE, DISPOSITIF D'ALIGNEMENT DE MASQUE À GRAND CHAMP DE VISION, ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(ZH) 光刻机刀口组、大视场光刻机和曝光方法
Abrégé : front page image
(EN)A knife edge set of a mask aligner, a large-view-field mask aligner, and an exposure method. During test, a knife edge set in a scanning direction is moved one time for illumination test, and is moved to above an alignment mark after the test is completed. During exposure, the knife edge set in a scanning direction is moved, along with a mask table, at a same speed and in a same direction, so that the knife edge set in the scanning direction and the alignment mark of a mask (4) maintain relatively static. If the exposure is full-view-field exposure, a knife edge set in a non-scanning direction does not need to be moved. If the exposure is local exposure, the knife edge set in the non-scanning direction is moved to the view field of local exposure, a window formed by the knife edge set in the non-scanning direction forms a shape of controlling an illumination light spot, and then the knife edge set in the non-scanning direction can remain stationary. By moving only the mask table and a working table, the exposure view field can be moved from one exposure region, and the another exposure region is moved into the exposure view field to continue exposure, so as to complete exposure of all exposure regions. Since it is unnecessary to configure multiple knife edge sets, the present invention features a simple structure, and reduces the requirement for control precision.
(FR)L'invention concerne un ensemble de lames de couteau d'un dispositif d'alignement de masque, un dispositif d'alignement de masque à grand champ de vision, et un procédé d'exposition. Pendant un test, un ensemble de lames de couteau dans une direction de balayage est déplacé une fois pour un test d'éclairage, et est déplacé au-dessus d'un repère d'alignement une fois que le test est terminé. Pendant une exposition, l'ensemble de lames de couteau dans une direction de balayage est déplacé, conjointement avec une table de masque, à une même vitesse et dans une même direction, de telle sorte que l'ensemble de lames de couteau dans la direction de balayage et le repère d'alignement d'un masque (4) restent relativement statiques. Si l'exposition est une exposition à champ de vision complet, un ensemble de lames de couteau dans une direction de non-balayage n'a pas besoin d'être déplacé. Si l'exposition est une exposition locale, l'ensemble de lames de couteau dans la direction de non-balayage est déplacé vers le champ de vision d'exposition locale, une fenêtre formée par l'ensemble de lames de couteau dans la direction de non-balayage définit une forme de commande d'un point lumineux d'éclairage, puis l'ensemble de lames de couteau dans la direction de non-balayage peut rester fixe. En déplaçant uniquement la table de masque et une table de travail, le champ de vision d'exposition peut être déplacé depuis une région d'exposition, et l'autre région d'exposition est déplacée dans le champ de vision d'exposition afin de poursuivre l'exposition, de façon à achever l'exposition de toutes les régions d'exposition. Étant donné qu'il n'est pas nécessaire de configurer de multiples ensembles de lames de couteau, la présente invention présente une structure simple et réduit l'exigence de précision de commande.
(ZH)一种光刻机刀口组、大视场光刻机和曝光方法,在测试时,扫描向刀口组移动一次进行光照测试,测试完成后移动至对准标记上方;在曝光时,扫描向刀口组跟随掩模台以相同的速度和相同的方向移动,使扫描向刀口组与掩模版(4)的对准标记保持相对静止。若为全视场曝光,非扫描向刀口组无需移动,若为局部曝光,则使非扫描向刀口组移动至局部曝光的视场处,由非扫描向刀口组形成的窗口形成控制照明光光斑的形状,然后非扫描向刀口组可保持静止,只需移动掩模台和工作台,即可从一个曝光区域移出该曝光视场,另一个曝光区域移入该曝光视场,继续进行曝光,从而完成所有曝光区域的曝光。由于无需设置多套刀口组,结构简单,降低对控制精度的要求。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)