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1. (WO2017206786) APPAREIL À PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF

Pub. No.:    WO/2017/206786    International Application No.:    PCT/CN2017/085859
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri May 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/32
Applicants: BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
京东方科技集团股份有限公司
HEFEI XINSHENG OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
合肥鑫晟光电科技有限公司
Inventors: WEI, Yu
魏钰
LIU, Jun
刘军
Title: APPAREIL À PLASMA À COUPLAGE INDUCTIF
Abstract:
L'invention concerne un appareil à plasma à couplage inductif qui comprend : une chambre de réaction (01), une plaque de couplage diélectrique (30) et une bobine (20) placée au-dessus de la plaque de couplage diélectrique. La plaque de couplage diélectrique comprend au moins deux couches. La plaque de couplage diélectrique comprend une pluralité de régions, chaque région comportant en son sein une structure de réglage de champ électrique (50) située entre lesdites deux couches de la plaque de couplage diélectrique. La structure de réglage de champ électrique est utilisée pour régler l'intensité d'un champ électrique qui passe à travers chaque région de la plaque de couplage diélectrique pour pénétrer dans la chambre de réaction.