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1. (WO2017206694) APPAREIL DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE

Pub. No.:    WO/2017/206694    International Application No.:    PCT/CN2017/083972
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri May 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: B08B 7/02
G02F 1/13
G02F 1/1337
Applicants: BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
京东方科技集团股份有限公司
HEFEI BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD.
合肥京东方光电科技有限公司
Inventors: JING, Yangkun
井杨坤
LIU, Fei
刘飞
XU, Zhiwei
徐志伟
CHE, Xiaopan
车晓盼
CHEN, Chuanhui
陈传辉
Title: APPAREIL DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de nettoyage et un procédé de nettoyage. L'appareil de nettoyage est utilisé pour nettoyer des résidus sur un substrat. L'appareil de nettoyage comprend un dispositif de déformation (22) disposé sur le substrat (21), et un dispositif d'excitation (23) utilisé pour créer une source d'excitation pour le dispositif de déformation (22), de sorte que le dispositif de déformation (22) soit déformé sous l'action de la source d'excitation et entraîne ainsi le substrat (21) à vibrer. De cette manière, la présente invention permet de secouer des résidus pour les enlever d'un substrat.