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1. (WO2017205391) DÉTECTION DE PARTICULES POUR TRAITEMENT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2017/205391    International Application No.:    PCT/US2017/034028
Publication Date: Fri Dec 01 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/66
H01L 21/683
H01L 21/67
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: EGAN, Todd
VAEZ-IRAVANI, Mehdi
BANNA, Samer
TANTIWONG, Kyle
KIRK, Gregory
RAVID, Abraham
SHEN, Yaoming
Title: DÉTECTION DE PARTICULES POUR TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention concerne un système de traitement de substrat. Le système comprend une chambre de traitement comprenant une ou plusieurs parois latérales entourant une région de traitement et un support de substrat. Le système comprend en outre un passage communiquant avec la chambre de traitement et un premier détecteur de particules, disposé à un premier emplacement le long du passage. Le premier détecteur de particules comprend une source d'énergie configurée pour émettre un premier faisceau ; un ou plusieurs dispositifs optiques, configurés pour diriger le premier faisceau le long d'un ou de plusieurs trajets, le ou les trajets s'étendant à travers au moins une partie du passage. Le premier détecteur de particules comprend en outre un premier détecteur d'énergie disposé à un emplacement autre que sur le ou les trajets. Le système comprend en outre un dispositif de commande configuré pour communiquer avec le premier détecteur de particules, le dispositif de commande étant configuré pour identifier un défaut sur la base de signaux reçus du premier détecteur de particules.