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1. (WO2017205361) DÉTECTION DE DÉFAUT COMBINÉE À BASE DE PLAQUE ET DE CONCEPTION
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N° de publication : WO/2017/205361 N° de la demande internationale : PCT/US2017/033976
Date de publication : 30.11.2017 Date de dépôt international : 23.05.2017
CIB :
G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
BRAUER, Bjorn; US
BHATTACHARYYA, Santosh; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Données relatives à la priorité :
15/356,79921.11.2016US
62/341,54525.05.2016US
Titre (EN) COMBINED PATCH AND DESIGN-BASED DEFECT DETECTION
(FR) DÉTECTION DE DÉFAUT COMBINÉE À BASE DE PLAQUE ET DE CONCEPTION
Abrégé :
(EN) Defect detection is performed by comparing a test image and a reference image with a rendered design image, which may be generated from a design file. This may occur because a comparison of the test image and another reference image was inconclusive due to noise. The results of the two comparisons with the rendered design image can indicate whether a defect is present in the test image.
(FR) Selon la présente invention, la détection de défaut est effectuée par comparaison d'une image d’essai et d'une image de référence à une image de conception rendue, qui peut être générée à partir d'un fichier de conception. Cela peut être réalisé parce qu'une comparaison de l'image d'essai et d'une autre image de référence n’était pas concluante en raison du bruit. Les résultats des deux comparaisons à l'image de conception rendue peuvent indiquer si un défaut est présent dans l'image d’essai.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)