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1. (WO2017204167) SUBSTRAT EN VERRE SANS ALCALI, SUBSTRAT STRATIFIÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT EN VERRE

Pub. No.:    WO/2017/204167    International Application No.:    PCT/JP2017/019069
Publication Date: 30 nov. 2017 International Filing Date: 22 mai 2017
IPC: C03C 3/091
C03C 3/093
H01L 23/15
Applicants: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
旭硝子株式会社
Inventors: NOMURA Shuhei
野村 周平
ONO Kazutaka
小野 和孝
Title: SUBSTRAT EN VERRE SANS ALCALI, SUBSTRAT STRATIFIÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT EN VERRE
Abstract:
L'invention concerne un substrat en verre sans alcali qui a une vitesse de dégrossissage élevée, et qui permet de générer une contrainte résiduelle inférieure dans un substrat de silicium lors d'un processus de traitement thermique permettant de lier ledit substrat de silicium à un substrat en verre. Ledit substrat en verre sans alcali contient, en % en mole des oxydes, 11,0 % d'Al2O3, 8,0 % ou plus de B2O3 et 1 % ou plus de SrO, et présente un coefficient moyen de dilatation thermique α100/200 à 100 à 200 °C de 3,10 à 3,70 ppm/°C, un module de Young de 76,0 GPa ou moins, et une densité de 2,42 g/cm3 ou plus.