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1. (WO2017204112) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF D'EXPOSITION COMPRENANT UN DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, ET DISPOSITIF D'INSPECTION
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N° de publication :    WO/2017/204112    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/018852
Date de publication : 30.11.2017 Date de dépôt international : 19.05.2017
CIB :
G02F 1/365 (2006.01), G02F 1/37 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01), H01S 3/067 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventeurs : TOKUHISA, Akira; (JP)
Mandataire : NAGAI, Fuyuki; (JP).
WATANABE, Takao; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-105612 26.05.2016 JP
Titre (EN) PULSED LIGHT GENERATION DEVICE, PULSED LIGHT GENERATION METHOD, EXPOSURE DEVICE COMPRISING PULSED LIGHT GENERATION DEVICE, AND INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF D'EXPOSITION COMPRENANT UN DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) パルス光生成装置、パルス光生成方法、パルス光生成装置を備えた露光装置および検査装置
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To suppress spreading of a wavelength spectrum and obtain amplified high-intensity pulsed light. [Solution] A pulsed light generation device comprising: a first optical fiber having a first pulsed light and a second pulsed light that are multiplexed, incident thereto, and propagate the interior thereof, said second pulsed light having reduced intensity when the intensity of the first pulsed light increases and having increased intensity when the intensity of the first pulsed light decreases; and a second optical fiber that receives the first pulsed light emitted from the first optical fiber, propagates same therein, and amplifies same. The pulsed light generation device is configured such that: phase modulation occurs in the first pulsed light as a result of cross phase modulation from the second pulsed light, in the first optical fiber; and self-phase modulation occurring in the first pulsed light in the second optical fiber is attenuated by the phase modulation occurring in the first optical fiber.
(FR)L'invention vise à supprimer l'étalement d'un spectre de longueur d'onde et à obtenir une lumière pulsée à haute intensité amplifiée. Pour ce faire, un dispositif de génération de lumière pulsée comprend : une première fibre optique ayant une première lumière pulsée et une seconde lumière pulsée qui sont multiplexées, incidentes sur celle-ci, et qui se propagent à l'intérieur de celle-ci, ladite seconde lumière pulsée ayant une intensité réduite lorsque l'intensité de la première lumière pulsée augmente et ayant une intensité accrue lorsque l'intensité de la première lumière pulsée diminue ; et une seconde fibre optique qui reçoit la première lumière pulsée émise par la première fibre optique, la propage dans celle-ci, et l'amplifie. Le dispositif de génération de lumière pulsée est conçu de sorte : que la modulation de phase se produise dans la première lumière pulsée suite à une modulation de phase croisée à partir de la seconde lumière pulsée, dans la première fibre optique ; et qu'une modulation de phase automatique se produisant dans la première lumière pulsée dans la seconde fibre optique soit atténuée par la modulation de phase se produisant dans la première fibre optique.
(JA)【課題】波長スペクトルの拡がりを抑えて増幅した大きな強度のパルス光を得る。 【解決手段】パルス光生成装置は、第1パルス光と、前記第1パルス光の強度が増加する際には強度が減少し前記第1パルス光の強度が減少する際には強度が増加する第2パルス光と、が合波されて入射し内部を伝播する第1光ファイバと、前記第1光ファイバから出射した前記第1パルス光を受けて内部を伝播し増幅する第2光ファイバと、を備え、前記第1光ファイバにおいて前記第2パルス光からの相互位相変調により前記第1パルス光に位相変調が発生し、前記第2光ファイバにおいて前記第1パルス光に発生する自己位相変調は、前記第1光ファイバにおいて発生した位相変調によって減殺される構成である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)