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1. (WO2017202611) ÉLÉMENT MICRO-MÉCANIQUE POUR DISPOSITIF À CAPTEUR DE PRESSION
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N° de publication :    WO/2017/202611    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/061176
Date de publication : 30.11.2017 Date de dépôt international : 10.05.2017
CIB :
G01L 9/00 (2006.01), G01L 9/12 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Inventeurs : REINMUTH, Jochen; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 209 241.3 27.05.2016 DE
Titre (DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE DRUCKSENSORVORRICHTUNG
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT FOR A PRESSURE SENSOR DEVICE
(FR) ÉLÉMENT MICRO-MÉCANIQUE POUR DISPOSITIF À CAPTEUR DE PRESSION
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung miteiner Membran (16), welche einen Referenzdruck (pr) von einem Außendruck (p) abgrenzt,mindestens einer ersten Statorelektrode (28a), mindestens einer zweiten Statorelektrode (28b), und einer um eine Drehachse (20) verkippbaren Wippenstruktur (22) mit mindestens einer ersten Aktorelektrode (24a) und mindestens einer zweiten Aktorelektrode (24b), wobei die Wippenstruktur (22) derart mit der Membran (16) verbunden ist, dass bei einer Druckgleichheit zwischen dem Außendruck (p) und dem Referenzdruck (pr) die Wippenstruktur (22) und ihre Aktorelektroden (24a, 24b) in ihren Ausgangsstellungen vorliegen, wobeibei einem Vorliegen der Wippenstruktur (22) und ihre Aktorelektroden (24a, 24b) in ihren Ausgangsstellungen eine erste Kapazität zwischen der mindestens einen ersten Aktorelektrode (24a) und der mindestens einen ersten Statorelektrode (28a) von einer zweiten Kapazität zwischen der mindestens einen zweiten Aktorelektrode (24b) und der mindestens einen zweiten Statorelektrode (28b) abweicht.
(EN)The invention relates to a micromechanical component for a pressure sensor device comprising a diaphragm (16) which isolates a reference pressure (pr) from an external pressure (p), at least one first stator electrode (28a), at least one second stator electrode (28b), and a rocker structure (22) which can be tilted about a rotational axis (20) and has at least one first actuator electrode (24a) and at least one second actuator electrode (24b), wherein the rocker structure (22) is connected to the diaphragm (16) in such a way that, in the event of equal pressure between the external pressure (p) and the reference pressure (pr), the rocker structure (22) and the actuator electrodes (24a, 24b) thereof are present in their starting positions, wherein, when the rocker structure (22) and the actuator electrodes (24a, 24b) thereof are in their starting positions, a first capacity between the at least one first actuator electrode (24a) and the at least one first stator electrode (28a) deviates from a second capacity between the at least one second actuator electrode (24b) and the at least one second stator electrode (28b).
(FR)L'invention concerne un élément micro-mécanique pour un dispositif à capteur de pression comprenant une membrane (16), laquelle limite une pression de référence (pr) par rapport à une pression extérieure (p), au moins une première électrode de stator (28a), au moins une deuxième électrode de stator (28b), et une structure à bascule (22) pouvant basculer autour d'un axe de rotation (20) et pourvue d'au moins une première électrode d'actionneur (24a) et d'au moins une deuxième électrode d'actionneur (24b). La structure à bascule (22) est reliée à la membrane (16) de telle manière que, lorsque la pression extérieure (p) et la pression de référence (pr) sont identiques, la structure à bascule (22) et ses électrodes d'actionneur (24a, 24b) se situent dans leurs positions initiales. Lorsque la structure à bascule (22) et ses électrodes d'actionneur (24a, 24b) se situent dans leurs positions initiales, une première capacité entre la ou les premières électrodes d'actionneur (24a) et la ou les premières électrodes de stator (28a) se différencie d'une deuxième capacité entre la ou les deuxièmes électrodes d'actionneur (24b) et la ou les deuxièmes électrodes de stator (28b).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)