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1. (WO2017199658) DISPOSITIF DE SUPPORT DE SUBSTRAT, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF DE FORMATION DE MOTIFS

Pub. No.:    WO/2017/199658    International Application No.:    PCT/JP2017/015416
Publication Date: Fri Nov 24 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Tue Apr 18 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/24
G03F 7/20
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: KATO Masaki
加藤正紀
KITO Yoshiaki
鬼頭義昭
HORI Masakazu
堀正和
KIUCHI Tohru
木内徹
KURASHIGE Takahiro
倉重貴広
Title: DISPOSITIF DE SUPPORT DE SUBSTRAT, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF DE FORMATION DE MOTIFS
Abstract:
L'invention concerne : un corps cylindrique (50), qui est un tambour rotatif (DR) pour enrouler une partie d'un substrat en feuille (P) souple long autour de la direction circonférentielle de la surface circonférentielle externe cylindrique de celui-ci et supportant la partie du substrat en feuille (P), le corps cylindrique (50) ayant une surface circonférentielle externe cylindrique ayant un rayon donné à partir de l'axe central (AXo) ; des capteurs photoélectriques (PD1-3) destinés à émettre un signal correspondant à l'intensité d'un faisceau (LBn) qui est projeté vers la surface circonférentielle externe du corps cylindrique (50) et qui pénètre dans une ouverture (501) formée sur une partie de la surface circonférentielle externe du corps cylindrique (50) ; et un substrat de circuit de capteur (60), le signal provenant des capteurs photoélectriques (PD1-3) étant entré dans le substrat de circuit de capteur (60) et le substrat de circuit de capteur (60) réalisant un traitement de signal pour mesurer la position du faisceau ou un changement de l'intensité du faisceau (LBn).