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1. (WO2017198422) ROBUSTESSE DE MÉTROLOGIE BASÉE SUR UNE SIMILARITÉ ENTRE LONGUEURS D'ONDE

Pub. No.:    WO/2017/198422    International Application No.:    PCT/EP2017/059642
Publication Date: 23 nov. 2017 International Filing Date: 24 avr. 2017
IPC: G03F 9/00
G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: GARCIA GRANDA, Miguel
LEEWIS, Christian, Marinus
STAALS, Frank
Title: ROBUSTESSE DE MÉTROLOGIE BASÉE SUR UNE SIMILARITÉ ENTRE LONGUEURS D'ONDE
Abstract:
L'invention concerne un procédé qui consiste à obtenir un résultat de mesure à partir d'une cible sur un substrat, à l'aide d'une formule de mesure de substrat ; à déterminer, par un système informatique matériel, un paramètre à partir du résultat de mesure, le paramètre caractérisant la dépendance du résultat de mesure à une longueur de chemin optique de la cible pour un rayonnement incident utilisé dans la formule de mesure de substrat et la détermination du paramètre comprenant la détermination de la dépendance du résultat de mesure à un changement relatif de longueur d'onde du rayonnement incident ; et si le paramètre ne se trouve pas dans une plage spécifiée, à adapter la formule de mesure de substrat.