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1. (WO2017197305) TOURNAGE ÉLECTROSTATIQUE DE LAMELLE DE COUVERTURE À PLANÉITÉ DE SURFACE IRRÉGULIÈRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/197305    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/032479
Date de publication : 16.11.2017 Date de dépôt international : 12.05.2017
CIB :
C23C 14/50 (2006.01), B23Q 3/15 (2006.01), C23C 16/458 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza Corning, New York 14831 (US)
Inventeurs : BOUGHTON, Daniel Robert; (US).
FAGAN, James Gerard; (US).
KEEBLER, Thomas Augustus; (US)
Mandataire : SCHMIDT, Jeffrey A; (US)
Données relatives à la priorité :
62/335,350 12.05.2016 US
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCKING OF COVER GLASS WITH IRREGULAR SURFACE FLATNESS
(FR) TOURNAGE ÉLECTROSTATIQUE DE LAMELLE DE COUVERTURE À PLANÉITÉ DE SURFACE IRRÉGULIÈRE
Abrégé : front page image
(EN)An electrostatic chuck apparatus for chucking glass includes a substantially rigid chassis with a plurality of apertures extending from one side of the chassis to another side of the chassis. A plurality of electrostatic chuck pins extend through the openings and are resiliently mounted to the chassis such that the extent to which the electrostatic chuck pins extend through the chassis is individually variable. With this construction, the electrostatic chuck pins maintaining contact with the surface of the glass despite the presence of some variation in the localized surface flatness of the glass.
(FR)Un appareil de tournage électrostatique pour le tournage du verre comprend un châssis sensiblement rigide avec une pluralité d'ouvertures s'étendant d'un côté du châssis à un autre côté du châssis. Une pluralité de broches de tournage électrostatiques s'étend à travers les ouvertures et est montée de manière résiliente sur le châssis de telle sorte que l'étendue de l'extension des broches de mandrin électrostatique à travers le châssis soit variable individuellement. Avec cette structure, les broches de tournage électrostatiques maintiennent le contact avec la surface du verre malgré la présence de variations localisées de la planéité de surface du verre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)