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1. (WO2017196638) SYSTÈME D'ALIGNEMENT ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/196638    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/031146
Date de publication : 16.11.2017 Date de dépôt international : 04.05.2017
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 NW Science Park Drive Portland, OR 97229 (US)
Inventeurs : JOHNS, Ted; (US).
KOSMOWSKI, Mark; (US).
PRODANI, Ridian; (US).
JOHANSEN, Brian; (US)
Mandataire : EATON, Kurt, M.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/336,472 13.05.2016 US
Titre (EN) ALIGNMENT SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
(FR) SYSTÈME D'ALIGNEMENT ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN)An alignment system includes a substrate fixture configured to receive a substrate, a guide structure positionally fixed relative to a substrate fixture and at least one actuated clamp. The substrate fixture may be configured to receive a substrate. An actuated clamp may include a clamp, an actuator coupled to the clamp and positionally fixed relative to a substrate fixture that is configured to receive a substrate, and an encoder operative to generate and output encoder data indicative of the position of the clamp. The actuator may be operative to move the clamp relative to the substrate fixture. The guide structure and the actuated clamp can be arranged such that a substrate received by the substrate fixture is pressable between the clamp and the guide structure when the clamp is moved relative to the substrate fixture by the first actuator.
(FR)Système d'alignement comprenant une monture de substrat conçu pour recevoir un substrat, une structure de guidage fixée en position par rapport à une monture de substrat et au moins une pince actionnée. La monture de substrat peut être conçue de façon à recevoir un substrat. Une pince actionnée peut comprendre une pince, un actionneur accouplé à la pince et fixé en position par rapport à une monture de substrat qui est conçue pour recevoir un substrat, et un codeur servant à produire et à sortir des données de codeur indiquant la position de la pince. L'actionneur peut servir à déplacer la pince par rapport à la monture de substrat. La structure de guidage et la pince actionnée peuvent être agencées de telle sorte qu'un substrat reçu par la monture de substrat peut être pressé entre la pince et la structure de guidage lorsque la pince est déplacée par rapport à la monture de substrat par le premier actionneur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)