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1. (WO2017196540) TRANCHE À AUTO-ÉTALONNAGE FAISANT APPEL À UN CAPTEUR
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N° de publication :    WO/2017/196540    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/029697
Date de publication : 16.11.2017 Date de dépôt international : 26.04.2017
CIB :
H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : RAMACHANDRAN, Narayanan; (IN).
BALAKRISHNAN, Karthik Narayanan; (IN).
THANU, Rajkumar; (IN).
HUDGENS, Jeffrey; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US).
STEVENS, Joseph J.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/336,450 13.05.2016 US
Titre (EN) SENSOR BASED AUTO-CALIBRATION WAFER
(FR) TRANCHE À AUTO-ÉTALONNAGE FAISANT APPEL À UN CAPTEUR
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments described herein generally relate to an apparatus and method of performing a robot calibration process within a substrate processing system. In one embodiment, a calibration device is used to calibrate a robot having an end effector. The calibration device includes a body, a first side and a second side opposite to the first side. The calibration device further includes a sensor disposed on the second side of the body. In some embodiments, the sensor covers the entire second side of the body. In this configuration, because the sensor covers the entire second side of the body of the calibration device, the calibration device can be utilized to sense the contact between the sensor and various differently configured chamber components found in different types of processing chambers or stations disposed within a processing system during a calibration process performed in each of the different processing chambers or stations.
(FR)Selon des modes de réalisation, la présente invention concerne de manière générale un appareil et un procédé pour effectuer un processus d'étalonnage de robot dans un système de traitement de substrat. Dans un mode de réalisation, un dispositif d'étalonnage est utilisé pour étalonner un robot comprenant un effecteur terminal. Le dispositif d'étalonnage comprend un corps, un premier côté et un second côté à l'opposé du premier côté. Le dispositif d'étalonnage comprend en outre un capteur disposé sur le second côté du corps. Dans certains modes de réalisation, le capteur recouvre tout le second côté du corps. Dans cette configuration, étant donné que le capteur recouvre tout le second côté du corps du dispositif d'étalonnage, le dispositif d'étalonnage peut être utilisé pour détecter le contact entre le capteur et divers éléments de chambre différemment configurés rencontrés dans différents types de postes ou chambres de traitement disposés dans un système de traitement pendant un processus d'étalonnage effectué dans chacun des différents postes ou chambres de traitement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)