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1. (WO2017194838) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RÉSEAU DE PIXELS DE CAPTEUR, ET APPAREIL ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/194838    N° de la demande internationale :    PCT/FI2017/050360
Date de publication : 16.11.2017 Date de dépôt international : 09.05.2017
CIB :
B82Y 10/00 (2011.01), B82Y 15/00 (2011.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 29/66 (2006.01), H01L 27/146 (2006.01), H01L 29/16 (2006.01)
Déposants : EMBERION OY [FI/FI]; Metsänneidonkuja 8 02130 Espoo (FI)
Inventeurs : BOWER, Chris; (GB).
WHITE, Richard; (GB).
LIU, Yinglin; (GB).
RUSHTON, Ashley; (GB)
Mandataire : BOCO IP OY AB; Itämerenkatu 5 00180 Helsinki (FI)
Données relatives à la priorité :
16168895.7 10.05.2016 EP
Titre (EN) A METHOD OF MAKING AN ARRAY OF SENSOR PIXELS, AND ASSOCIATED APPARATUS AND METHODS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RÉSEAU DE PIXELS DE CAPTEUR, ET APPAREIL ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abrégé : front page image
(EN)A method of making an array of sensor pixels, the method comprising: forming an array of nucleation sites (415) on a growth substrate (411), each nucleation site (415) configured to facilitate the growth of a respective domain (416) of channel material on the growth substrate (411), the array of nucleation sites (415) having a predefined configuration corresponding to an arrangement of pixel regions (413) on a target substrate (412); growing an array of domains (416) of channel material on the growth substrate (411) from the array of respective nucleation sites (415) to form a layer of channel material (410); and transferring the layer of channel material (410) onto the target substrate (412) such that the domains (416) of channel material are substantially aligned with the pixel regions of the target substrate (412) to allow the formation of a pixel array, each pixel of the array comprising source and drain electrodes configured to enable a flow of electrical current through a respective domain of channel material, and a functionalising material on the domain of channel material configured to produce a detectable change in the flow of electrical current on exposure to a physical stimulus which is indicative of one or more of the presence and magnitude of the physical stimulus.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un réseau de pixels de capteur, le procédé consistant : à former un réseau de sites de nucléation sur un substrat de croissance, chaque site de nucléation étant conçu pour faciliter la croissance d'un domaine respectif de matériau de canal sur le substrat de croissance, le réseau de sites de nucléation ayant une configuration prédéfinie correspondant à un agencement de régions de pixels sur un substrat cible; à faire croître un réseau de domaines de matériau de canal sur ce substrat de croissance à partir du réseau de sites de nucléation respectifs pour former une couche de matériau de canal; et à transférer la couche de matériau de canal sur le substrat cible de telle sorte que les domaines de matériau de canal soient pratiquement alignés sur les régions de pixels du substrat cible pour permettre la formation d'un réseau de pixels, chaque pixel du réseau comprenant des électrodes source et déversoir prévues pour qu'un flux de courant électrique puisse traverser un domaine respectif de matériau de canal, et un matériau de fonctionnalisation sur le domaine de matériau de canal destiné à produire un changement détectable du flux de courant électrique lors d'une exposition à un stimulus physique, ce changement indiquant la présence et/ou l'amplitude du stimulus physique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)