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1. (WO2017194393) SYSTÈME DE CONDITIONNEMENT DE RAYONNEMENT, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE ET APPAREIL DE MÉTROLOGIE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
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N° de publication :    WO/2017/194393    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/060736
Date de publication : 16.11.2017 Date de dépôt international : 05.05.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 27/09 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : GOORDEN, Sebastianus, Adrianus; (NL).
TUKKER, Teunis, Willem; (NL).
DE WIT, Johannes, Matheus, Marie; (NL).
MERTES, Jonas; (NL).
VAN DER ZOUW, Gerbrand; (NL)
Mandataire : BROEKEN, Petrus; (NL)
Données relatives à la priorité :
16169199.3 11.05.2016 EP
Titre (EN) RADIATION CONDITIONING SYSTEM, ILLUMINATION SYSTEM AND METROLOGY APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTÈME DE CONDITIONNEMENT DE RAYONNEMENT, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE ET APPAREIL DE MÉTROLOGIE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are an optical system for conditioning a beam of radiation, and an illumination system and metrology apparatus comprising such an optical system. The optical system comprises one or more optical mixing elements in an optical system. The optical system defines at least a first optical mixing stage, at least a second optical mixing stage, and at least one transformation stage, configured such that radiation entering the second optical mixing stage includes a transformed version of radiation exiting the first optical mixing stage. The first and second optical mixing stages can be provided using separate optical mixing elements, or by multiple passes through the same optical mixing element. The transformation stage can be a Fourier transformation stage. Both spatial distribution and angular distribution of illumination can be homogenized as desired.
(FR)L'invention concerne un système optique permettant le conditionnement d'un faisceau de rayonnement, ainsi qu'un système d'éclairage et un appareil de métrologie comprenant un tel système optique. Le système optique comprend un ou plusieurs éléments de mélange optique dans un système optique. Le système optique délimite au moins un premier étage de mélange optique, au moins un second étage de mélange optique et au moins un étage de transformation, configurés de telle sorte que le rayonnement pénétrant dans le second étage de mélange optique comprend une version transformée du rayonnement sortant du premier étage de mélange optique. Les premier et second étages de mélange optique peuvent être obtenus à l'aide d'éléments de mélange optique séparés, ou par de multiples passages à travers le même élément de mélange optique. L'étage de transformation peut être un étage de transformation de Fourier. La distribution spatiale aussi bien que la distribution angulaire de l'éclairage peuvent être homogénéisées selon les besoins.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)