WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2017193001) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN ENSEMBLE DE MANIPULATION D'UN SUBSTRAT AMÉLIORÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/193001    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/031313
Date de publication : 09.11.2017 Date de dépôt international : 05.05.2017
CIB :
H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : VELAZQUEZ, Edwin; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian M.; (US).
DUGAN, Valerie G.; (US).
TOSTADO, Paula; (US).
SONG, Eddy; (US).
WILSON, James C.; (US).
GHEORGHIU, Anca; (US).
KWONG, Raymond Kam-on; (US).
DAO, Mimi-Diemmy; (US).
WAYLAND, Randall S.; (US).
CHOI, Changhoon; (US).
FABER, Scott; (US).
HWANG, David; (US).
SANTISI, Steven; (US).
TUMA, Garry; (US).
MIZUMOTO, Edmund; (US).
BALUN, Matthew; (US)
Données relatives à la priorité :
62/332,767 06.05.2016 US
Titre (EN) SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR AN IMPROVED SUBSTRATE HANDLING ASSEMBLY
(FR) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN ENSEMBLE DE MANIPULATION D'UN SUBSTRAT AMÉLIORÉ
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the present invention provide systems, apparatus, and methods for an improved substrate handling assembly. Embodiments include a pair of actuated arms; a pair of substrate capture tips, each capture tip formed in a different distal end of each actuated arm; an actuator coupled to a proximate end of the actuated arms and operative to actuate the actuated arms; and a hard stop positioned to prevent the actuator from closing the actuated arms more than a predefined amount so that in a closed position, the actuated arms do not contact a substrate positioned to be picked up by the substrate handing assembly. Numerous additional aspects are disclosed.
(FR)L'invention concerne, selon des modes de réalisation, des systèmes, un appareil et des procédés destinés à un ensemble de manipulation d'un substrat amélioré. Selon l'invention, les modes de réalisation comprennent une paire de bras actionnés ; une paire de pointes de saisie de substrat, chaque pointe de saisie étant formée dans une extrémité distale différente de chaque bras actionné ; un actionneur accouplé à une extrémité proche des bras actionnés et servant à actionner les bras actionnés ; et une butée rigide positionnée de façon à empêcher l'actionneur de fermer les bras actionnés de plus d'un degré prédéfini, de telle sorte que, dans une position fermée, les bras actionnés n'entrent pas en contact avec un substrat positionné de manière à être saisi par l'ensemble de manipulation de substrat. L’invention concerne de nombreux autres aspects.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)