WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2017192908) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PRODUIT-PROGRAMME D'ORDINATEUR PERMETTANT DE DÉTECTER DES DÉFAUTS DANS UN COMPOSANT CIBLE FABRIQUÉ À L'AIDE D'UNE MODULATION COHÉRENTE POUR LES COMPOSANTS CIBLES ET DE RÉFÉRENCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/192908    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/031147
Date de publication : 09.11.2017 Date de dépôt international : 04.05.2017
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : PARK, Allen; (US).
PLIHAL, Martin; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/331,567 04.05.2016 US
15/194,436 27.06.2016 US
Titre (EN) SYSTEM, METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT FOR DETECTING DEFECTS IN A FABRICATED TARGET COMPONENT USING CONSISTENT MODULATION FOR THE TARGET AND REFERENCE COMPONENTS
(FR) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PRODUIT-PROGRAMME D'ORDINATEUR PERMETTANT DE DÉTECTER DES DÉFAUTS DANS UN COMPOSANT CIBLE FABRIQUÉ À L'AIDE D'UNE MODULATION COHÉRENTE POUR LES COMPOSANTS CIBLES ET DE RÉFÉRENCE
Abrégé : front page image
(EN)A fabricated device having consistent modulation between target and reference components is provided. The fabricated device includes a target component having a first modulation. The fabricated device further includes at least two reference components for the target component including a first reference component and a second reference component, where the first reference component and the second reference component each have the first modulation. Further, a system, method, and computer program product are provided for detecting defects in a fabricated target component using consistent modulation for the target and reference components.
(FR)La présente invention concerne un dispositif fabriqué ayant une modulation cohérente entre des composants cibles et de référence. Le dispositif fabriqué comprend un composant cible ayant une première modulation. Le dispositif fabriqué comprend en outre au moins deux composants de référence pour le composant cible comprenant un premier composant de référence et un second composant de référence, le premier composant de référence et le second composant de référence ayant chacun la première modulation. En outre, la présente invention porte sur un système, sur un procédé et sur un produit-programme d'ordinateur permettant de détecter des défauts dans un composant cible fabriqué à l'aide d'une modulation cohérente pour les composants cibles et de référence.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)